【真空鍍膜機真空系統(tǒng)檢漏法之真空計檢漏法】 常用的真空計檢漏法主要是熱傳導真空計法與電離真空計法。以熱傳導真空計法為例,它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導能力差異與壓力的關系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時,要保證被檢系統(tǒng)處于一個壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài),將示漏氣體噴吹于可疑處(也可能用有機溶劑涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏氣體會通過漏孔進入被檢系統(tǒng),因為示漏氣體的熱傳導能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da,會引起明顯的熱傳導性質(zhì)變化,熱傳導真空計的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎上就會發(fā)生波動變化,根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應地,電離真空計法利用的即是示漏氣體進入后導致的離子流變化來進行換算。 真空系統(tǒng)檢漏中應用真空計檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計的特性的配合,選擇示漏氣體對應的特性差異要明顯有別于原有氣體成分,如熱傳導真空計的熱傳導能力、電離真空計的電離電位。其次為便于準確地觀察前后數(shù)據(jù)變化,要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài),測量的真空計規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài),防止虛假數(shù)據(jù)誤導。同時真空計規(guī)管存在惰性,需要觀察足夠的時間。 真空鍍膜機哪個牌子的好?天津南光真空鍍膜機
【真空鍍膜之電解拋光】電拋光是一種電化學過程,其中浸沒在電解質(zhì)中的工件的原子轉化成離子,并由于電流的通過而從表面移除,從而達到工件表面除去細微毛刺和光亮度增da的效果。 適用材料: 多數(shù)金屬都可以被電解拋光,其中*常用于不銹鋼的表面拋光(尤其適用于奧氏體核級不銹鋼)。 2.不同材料不可同時進行電解拋光,甚至不可以放在同一個電解溶劑里。 工藝成本:電解拋光整個過程基本由自動化完成,所以人工費用很低。環(huán)境影響:電解拋光采用危害較小的化學物質(zhì),整個過程需要少量的水且操作簡單,另外可以延長不銹鋼的屬性,起到讓不銹鋼延緩腐蝕的作用。 重慶高真空鍍膜機光學真空鍍膜機制造商。
【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點是基片相對于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨控制?;ǔ=拥匚?,它和靶與高頻電路無關,不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實現(xiàn)對樣品臺的單獨控溫,就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進行適當調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設備的構造,設計、加工了專門的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上,可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個測溫鉑電阻,用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊,再用導線引出與高精度的萬用表相連,以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。
【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級),濺射速度可達0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前*實用的鍍膜技術之一。其它有偏壓濺射、反應濺射、離子束濺射等鍍膜技術 濺鍍機設備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputter gun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30- 40%,圓柱型靶材料利用率>50% 濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse), 直流:800-1000V(Max)導體用,須可災弧。 射頻:13.56MHZ,非導體用。 脈沖:泛用,*新發(fā)展出 真空鍍膜機故障解決方法?
【真空鍍膜機清洗工藝之氮氣沖洗】 氮氣在材料表面吸附時,由于吸附能小,因而吸留表面時間極短.即便吸附在器壁上,也很容易被抽走。利用氮氣的這種性質(zhì)沖洗真空系統(tǒng),可以dada縮短系統(tǒng)的抽氣時間。如真空鍍膜機在放入da氣之前,先用干燥氮氣充入真空室沖刷一下再充入da氣,則下一抽氣循環(huán)的抽氣時間可縮短近一半,其原因為氮分予的吸附能遠比水氣分子小,在真空下充入氮氣后,氮分子先被真空室壁吸附了。由于吸附位是一定的,先被氮分子占滿了,其吸附的水分子就很少了,因而使抽氣時間縮短了。如果系統(tǒng)被擴散泵油噴濺污染了,還可以利用氮氣沖洗法來清洗被污染的系統(tǒng).一般是一邊對系統(tǒng)進行烘烤加熱,一邊用氮氣沖洗系統(tǒng),可將油污染消除。 真空鍍膜機真空度多少?貴州真空鍍膜機常見問題與解決辦法
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【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】 靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是*簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。 靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應的壓力范圍,再關閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)?!墩婵障到y(tǒng)抽氣達不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實現(xiàn)的,比較方便。當然在應用過程中,要提高準確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進行凈化清洗并烘干,或者用氮氣進行沖洗。更嚴格一點可以在測量規(guī)管與容器之間設置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進的空氣不會造成影響。 天津南光真空鍍膜機
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