【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),需更換新油。方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機(jī)前,要注意檢漏。方法:?jiǎn)?dòng)維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán),真空鍍膜設(shè)備無法進(jìn)入工作狀態(tài)。國(guó)產(chǎn)真空鍍膜機(jī)廠商推薦。山東光學(xué)薄膜射頻離子源生產(chǎn)廠家
【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場(chǎng),在此區(qū)電子密度高,進(jìn)而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個(gè)數(shù)量級(jí)),濺射速度可達(dá)0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputtergun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30-40%,圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse),直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。脈沖:泛用,新發(fā)展出遼寧光學(xué)鍍膜射頻離子源怎么選真空鍍膜機(jī)使用時(shí),需要注意哪些問題?
【真空鍍膜機(jī)電控柜的操作】1、玻璃真空鍍膜機(jī)開水泵、氣源2、開總電源3、開維持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。4、開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動(dòng),真空計(jì)開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子qiang電源。
【真空鍍膜機(jī)檢漏之氣壓檢漏】氣壓檢漏被檢零部件內(nèi)腔充以氣體(一般為空氣),充氣壓力的高低視零部件的強(qiáng)度而定,一般為(2~4)×105帕。充壓后的零部件如發(fā)出明顯的嘶嘶聲,音響源處就是漏孔位置。用這種方法可檢較小漏率為5帕·升/秒的漏孔。如不能用聲音直接察覺漏孔,則用皂液涂于零部件可疑表面處,有氣泡出現(xiàn)處便是漏孔位置。用這種方法較小可檢漏率為5×10-3帕·升/秒的漏孔。此外,還可將充氣的零部件浸在清凈的水槽中,氣泡形成處便是漏孔位置。用水槽顯示漏孔,方便可靠,并能同時(shí)全部顯示出漏孔位置。如氣泡小、成泡速度均勻、氣泡持續(xù)時(shí)間長(zhǎng),則為×10-2~13帕·升/秒漏率的漏孔。如氣泡da、成泡持續(xù)時(shí)間短,則為13~103帕·升/秒漏率的漏孔。光學(xué)真空鍍膜機(jī)制造商。
【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動(dòng)能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進(jìn)入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個(gè)離子所濺射出的原子個(gè)數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等高,Ti,Mo,Ta,W等低。一般在0.1-10原子/離子。離子可以直流輝光放電(glowdischarge)產(chǎn)生,在10-1—10Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會(huì)轟擊負(fù)電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。正常輝光放電(glowdischarge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時(shí)應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點(diǎn)材料也容易濺鍍,但對(duì)非導(dǎo)體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達(dá)10W/cm2,非金屬<5W/cm2。真空鍍膜機(jī)真空度多少?上海光學(xué)鍍膜射頻離子源
磁控濺射真空鍍膜機(jī)是什么?山東光學(xué)薄膜射頻離子源生產(chǎn)廠家
直流電源電壓紋波做了二次濾波處理,高壓輸出的紋波小于50mV,離子源束流的穩(wěn)定性和重復(fù)性較好,鍍膜的產(chǎn)品的折射率更穩(wěn)定。國(guó)泰真空射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同國(guó)泰射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同阻抗快速點(diǎn)火。山東光學(xué)薄膜射頻離子源生產(chǎn)廠家
成都國(guó)泰真空設(shè)備有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),各種專業(yè)設(shè)備齊全。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù),以誠(chéng)信、敬業(yè)、進(jìn)取為宗旨,以建錦成國(guó)泰產(chǎn)品為目標(biāo),努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè)。公司以用心服務(wù)為重點(diǎn)價(jià)值,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,將一般項(xiàng)目:泵及真空設(shè)備制造‘泵及真空設(shè)備銷售;機(jī)械設(shè)備銷售;機(jī)械零件、零部件銷售;光學(xué)儀器銷售;光學(xué)玻璃銷售;功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售;電子元器件批發(fā);技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣。等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底。誠(chéng)實(shí)、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備。