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福建離子束輔助沉積射頻離子源廠家

來源: 發(fā)布時間:2023-05-18

【真空鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)檢漏法之真空計檢漏法】常用的真空計檢漏法主要是熱傳導(dǎo)真空計法與電離真空計法。以熱傳導(dǎo)真空計法為例,它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導(dǎo)能力差異與壓力的關(guān)系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時,要保證被檢系統(tǒng)處于一個壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài),將示漏氣體噴吹于可疑處(也可能用有機(jī)溶劑涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏氣體會通過漏孔進(jìn)入被檢系統(tǒng),因為示漏氣體的熱傳導(dǎo)能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da,會引起明顯的熱傳導(dǎo)性質(zhì)變化,熱傳導(dǎo)真空計的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎(chǔ)上就會發(fā)生波動變化,根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應(yīng)地,電離真空計法利用的即是示漏氣體進(jìn)入后導(dǎo)致的離子流變化來進(jìn)行換算。真空系統(tǒng)檢漏中應(yīng)用真空計檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計的特性的配合,選擇示漏氣體對應(yīng)的特性差異要明顯有別于原有氣體成分,如熱傳導(dǎo)真空計的熱傳導(dǎo)能力、電離真空計的電離電位。其次為便于準(zhǔn)確地觀察前后數(shù)據(jù)變化,要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài),測量的真空計規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài),防止虛假數(shù)據(jù)誤導(dǎo)。同時真空計規(guī)管存在惰性,需要觀察足夠的時間。真空鍍膜機(jī)故障解決方法?福建離子束輔助沉積射頻離子源廠家

【真空鍍膜機(jī)電控柜的操作】1、玻璃真空鍍膜機(jī)開水泵、氣源2、開總電源3、開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。4、開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子qiang電源。吉林射頻離子源真空鍍膜機(jī)技術(shù)教程。

國泰真空射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同國泰射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同阻抗快速點(diǎn)火。射頻部分匹配采用了硬件反饋和軟件提前記憶并預(yù)判的技術(shù);直流引入快速滅弧技術(shù),同時提高了射頻和直流部分的穩(wěn)定性,軟件設(shè)置了自檢和自診斷功能,即:使用前系統(tǒng)自檢,使用中即時刷新,對非調(diào)整性輸入的變化提前警報并告知客戶做好預(yù)案。

【真空鍍膜機(jī)概述】:真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子搶加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜機(jī)構(gòu)造的五da系統(tǒng):排氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)。真空鍍膜三要素:真空度、抽氣時間、溫度;任何鍍膜工藝都需要為這三個要素設(shè)定目標(biāo)值;因此,只有當(dāng)三個條件同時滿足時,自動化程序才會自動運(yùn)行。真空鍍膜機(jī)需要做定期定期保養(yǎng),目的在于:讓鍍膜機(jī)能長時間地正常運(yùn)轉(zhuǎn);降低故障時間,避免影響產(chǎn)能,減少損失;提高機(jī)器精度,穩(wěn)定品質(zhì);加快抽氣速度,提升機(jī)器利用率等。國產(chǎn)真空鍍膜機(jī)哪家好?

【真空鍍膜對環(huán)境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?;M(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?;砻嫖廴緛碜粤慵诩庸ぁ鬏?、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。對經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在da氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。因為這些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。qing除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求。空氣濕度da的地區(qū),除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。真空鍍膜機(jī)廠家qian十。吉林射頻離子源

真空鍍膜機(jī)的主要用途?福建離子束輔助沉積射頻離子源廠家

射頻中和器采用L型接法匹配:匹配速度快,效率高,點(diǎn)火更優(yōu)。源頭和中和器結(jié)構(gòu)經(jīng)常拆解部分的內(nèi)六角進(jìn)行電鍍及消氣處理,防止拆卸過程卡死,備件及耗品重復(fù)利用率高。射頻電源及控制部分單獨(dú)裝配在一個電柜內(nèi),RF線纜做防輻射和泄漏處理,避免對通訊、控制信號的干擾,同時也做良好的散熱處理。直流電源電壓紋波做了二次濾波處理,高壓輸出的紋波小于50mV,離子源束流的穩(wěn)定性和重復(fù)性較好,鍍膜的產(chǎn)品的折射率更穩(wěn)定。射頻部分匹配采用了硬件反饋和軟件提前記憶并預(yù)判的技術(shù);直流引入快速滅弧技術(shù),同時提高了射頻和直流部分的穩(wěn)定性,軟件設(shè)置了自檢和自診斷功能,即:使用前系統(tǒng)自檢,使用中即時刷新,對非調(diào)整性輸入的變化提前警報并告知客戶做好預(yù)案。福建離子束輔助沉積射頻離子源廠家

成都國泰真空設(shè)備有限公司主營品牌有錦成國泰,發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊不斷壯大,該公司生產(chǎn)型的公司。公司致力于為客戶提供安全、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù),是一家有限責(zé)任公司企業(yè)。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊,具有光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備等多項業(yè)務(wù)。國泰真空自成立以來,一直堅持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認(rèn)可與大力支持。