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來源: 發(fā)布時間:2023-06-05

【真空鍍膜機清洗工藝之紫外線輻照清洗】利用紫外輻照來分解表面上的碳?xì)浠衔?。例如,在空氣中照?5h就可產(chǎn)生清潔的玻璃表面。如果把適當(dāng)預(yù)清洗的表面放在一個產(chǎn)生臭氧的紫外線源中.要不了幾分鐘就可以形成清潔表面(工藝清潔)。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機理是:在紫外線照射下,污物分子受激并離解,而臭氧的生成和存在產(chǎn)生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產(chǎn)生的自由基與原子態(tài)氧作用.形成較簡單易揮發(fā)分子.如H203、CO2和N2.其反應(yīng)速率隨溫度的增加而增加。真空鍍膜機的主要應(yīng)用。寧夏真空鍍膜空心陰極霍爾離子源價格

【真空鍍膜設(shè)備撿漏需注意】真空鍍膜設(shè)備檢漏是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項檢查措施,簡稱檢漏,真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的,所以檢漏是必不可少的。一、要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實漏。因為工件材料加熱后都會在不同程度上產(chǎn)生氣體,有可能誤以為是從外部流進的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。二、測試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。三、檢查漏孔的da小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案并實施。四、確定檢測儀器的小可檢漏率和檢漏靈敏性,以da范圍的檢測出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的準(zhǔn)確性。五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時間和消除時間。把時間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時間少了,檢漏效果肯定差,時間長了,浪費檢漏氣體和人工電費。六、還要避免漏孔堵塞。有時由于操作失誤,檢漏過程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以為在該位置沒有漏孔,但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多種多樣,我們要一一的解決這些原因,穩(wěn)定鍍膜的效果。河南光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源價格真空鍍膜機的工作原理。

【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預(yù)抽閥→關(guān)預(yù)抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關(guān)轟擊→開真空計→當(dāng)真空到,關(guān)粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當(dāng)真空達到7x10-3pa,開轉(zhuǎn)架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關(guān)閉真空計、離子源→關(guān)精抽閥,前置閥→關(guān)羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復(fù)開始操作。特別注意:1.設(shè)備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內(nèi)表面氣體的吸附,防止氧化。2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱,未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。3.要保證機器內(nèi)擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。4.設(shè)備運行中遇有停電或其它事故發(fā)生,須先停擴散泵,關(guān)精抽閥,前置閥和真空計。5.產(chǎn)品做完下班后,關(guān)了擴散泵后須待溫度降低至60℃后才能關(guān)維持泵。

【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級),濺射速度可達0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前實用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機設(shè)備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputtergun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30-40%,圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse),直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。脈沖:泛用,新發(fā)展出廣東真空鍍膜機廠家。

【真空鍍膜機詳細(xì)資料】系統(tǒng)概述真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。常用于對半導(dǎo)體、光伏、電子、精密光學(xué)等行業(yè)的納米級表面處理。系統(tǒng)原理通過電子槍發(fā)射高壓電子轟擊坩堝中的待鍍靶材,使其在高真空下蒸發(fā)并沉積在被鍍基片上以獲得鍍膜。系統(tǒng)配置*自動化控制器:e-ControlPLC,是控制系統(tǒng)的硬件平臺。人機界面硬件:TPC1503工業(yè)級15寸觸摸式平板電腦,穩(wěn)定可靠。人機界面軟件:NETSCADA組態(tài)軟件開發(fā)平臺,提供真空鍍膜機的控制和監(jiān)視。真空鍍膜機大概多少錢一臺?甘肅光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源制造生產(chǎn)

真空鍍膜機品牌有很多,你如何選擇?寧夏真空鍍膜空心陰極霍爾離子源價格

【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等高,Ti,Mo,Ta,W等低。一般在0.1-10原子/離子。離子可以直流輝光放電(glowdischarge)產(chǎn)生,在10-1—10Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負(fù)電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。正常輝光放電(glowdischarge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點材料也容易濺鍍,但對非導(dǎo)體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬<5W/cm2。寧夏真空鍍膜空心陰極霍爾離子源價格

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