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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-06-14

【真空鍍膜機(jī)有哪些污染源】真空鍍膜機(jī)是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過(guò)許多機(jī)械加工流程而制作出來(lái),如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因?yàn)橛辛诉@些工作,導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會(huì)沾染一些加工帶來(lái)的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對(duì)設(shè)備的極限真空造成影響。此外,這些機(jī)械加工帶來(lái)的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會(huì)被再次釋放出來(lái),成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對(duì)其絕緣強(qiáng)度有一定的損壞,對(duì)其測(cè)量的準(zhǔn)確性也有一定的影響;2、由于高溫蒸發(fā),會(huì)使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜;3、由于工件濺射,離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被濺散物所污染;4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被其蒸鍍靶材材料污染;5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會(huì)受蒸發(fā)出來(lái)的物質(zhì)所污染;6、真空鍍膜設(shè)備中的擴(kuò)散泵油、機(jī)械泵油等更是一da主要污染來(lái)源,鍍膜機(jī)長(zhǎng)期工作后,設(shè)備內(nèi)部可能會(huì)形成一層油膜。真空鍍膜機(jī)怎么保養(yǎng)?上海真空鍍膜射頻離子源

【真空鍍膜機(jī)電控柜的操作】1、玻璃真空鍍膜機(jī)開水泵、氣源2、開總電源3、開維持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。4、開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動(dòng),真空計(jì)開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子qiang電源。河南離子束刻蝕射頻離子源怎么選電子束蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)是什么?

【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是簡(jiǎn)單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因?yàn)樗恍枰妙~外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過(guò)測(cè)量規(guī)管就可以檢測(cè)真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡(jiǎn)單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無(wú)法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時(shí)還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來(lái)進(jìn)行了。靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應(yīng)的壓力范圍,再關(guān)閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計(jì)測(cè)量記錄真空容器中壓力隨時(shí)間的變化過(guò)程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)。《真空系統(tǒng)抽氣達(dá)不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過(guò)靜態(tài)升壓法實(shí)現(xiàn)的,比較方便。當(dāng)然在應(yīng)用過(guò)程中,要提高準(zhǔn)確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測(cè)之前對(duì)容器進(jìn)行凈化清洗并烘干,或者用氮?dú)膺M(jìn)行沖洗。更嚴(yán)格一點(diǎn)可以在測(cè)量規(guī)管與容器之間設(shè)置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對(duì)可能存在的漏孔所漏進(jìn)的空氣不會(huì)造成影響。

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之氮?dú)鉀_洗】氮?dú)庠诓牧媳砻嫖綍r(shí),由于吸附能小,因而吸留表面時(shí)間極短.即便吸附在器壁上,也很容易被抽走。利用氮?dú)獾倪@種性質(zhì)沖洗真空系統(tǒng),可以dada縮短系統(tǒng)的抽氣時(shí)間。如真空鍍膜機(jī)在放入da氣之前,先用干燥氮?dú)獬淙胝婵帐覜_刷一下再充入da氣,則下一抽氣循環(huán)的抽氣時(shí)間可縮短近一半,其原因?yàn)榈钟璧奈侥苓h(yuǎn)比水氣分子小,在真空下充入氮?dú)夂螅肿酉缺徽婵帐冶谖搅?。由于吸附位是一定的,先被氮分子占滿了,其吸附的水分子就很少了,因而使抽氣時(shí)間縮短了。如果系統(tǒng)被擴(kuò)散泵油噴濺污染了,還可以利用氮?dú)鉀_洗法來(lái)清洗被污染的系統(tǒng).一般是一邊對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行烘烤加熱,一邊用氮?dú)鉀_洗系統(tǒng),可將油污染消除。真空鍍膜機(jī)故障解決方法?

【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)原則及常用技術(shù)指標(biāo)】真空設(shè)備設(shè)計(jì)原則:(1)先功能,后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能;(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整體。再由整體,定局部。(4)先設(shè)計(jì),后校核。由粗到細(xì)。鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo):鍍膜方法:CVD,PVD(蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍);被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時(shí)間、恢復(fù)真空時(shí)間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;高電壓。PVD真空鍍膜機(jī)的公司。天津光學(xué)鍍膜射頻離子源

真空鍍膜機(jī)是什么樣的?上海真空鍍膜射頻離子源

【如何減少真空鍍膜的灰塵】1、使用的源材料要符合必要的純度要求。2、樣品取出后放置環(huán)境要注意清潔的問(wèn)題。3、鍍膜一段時(shí)間后,真空室內(nèi)壁必須要清潔處理。4、清洗襯底材料,必須要做到嚴(yán)格合乎工藝要求。5、工作人員有專門的服裝,操作要戴手套、腳套等。6、適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度,有利于降低周圍環(huán)境的懸浮固體顆粒物。7、技術(shù)上明確允許的da顆粒尺寸和單位面積顆粒物的數(shù)量的上限da致是多少。8、室內(nèi)空氣流動(dòng)性低、地面干凈,如果是裸露的水泥地,需要覆蓋處理。墻壁、屋頂不能使用一般的灰質(zhì)涂料粉刷。上海真空鍍膜射頻離子源

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