【磁控濺射鍍膜設(shè)備工作原理】磁控濺射鍍膜設(shè)備的磁控濺射靶是采用靜止電磁場(chǎng),而磁場(chǎng)是曲線型的,對(duì)數(shù)電場(chǎng)用于同軸圓柱形靶;均勻電場(chǎng)用于平面靶;S-qiang靶則位于兩者間.各部分的原理是一樣的.電子受電場(chǎng)影響而加速飛向基材,在此過程中跟氬原子觸發(fā)碰撞.如果電子本身足夠30eV的能量的話,則電離出Ar?同時(shí)產(chǎn)生電子.電子依舊飛向基材,而Ar?受電場(chǎng)影響會(huì)移動(dòng)到陰極(也就是濺射靶),同時(shí)用一種高能量轟擊靶的表面,也就是讓靶材發(fā)生濺射.在這些濺射粒子中,中性的靶分子或原子會(huì)沉積在基片上而成膜;而二次電子在加速飛向基材時(shí),在磁場(chǎng)的洛侖茲力影響之下,呈現(xiàn)螺旋線狀與擺線的復(fù)合形式在靶表面作一系列圓周運(yùn)動(dòng).該電子不但運(yùn)動(dòng)路徑長(zhǎng),還是被電磁場(chǎng)理論束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域范圍內(nèi).于此區(qū)內(nèi)電離出大量的Ar?對(duì)靶材進(jìn)行轟擊。 光學(xué)鍍膜設(shè)備產(chǎn)業(yè)集群。陜西光學(xué)鍍膜設(shè)備價(jià)格
【磁控濺射鍍光學(xué)膜的技術(shù)路線】陶瓷靶濺射:靶材采用金屬化合物靶材,可以直接沉積各種氧化物或者氮化物,有時(shí)候?yàn)榱说玫礁叩哪蛹兌?,也需要通入一定量反?yīng)氣體);反應(yīng)濺射:靶材采用金屬或非金屬靶,通入稀有和反應(yīng)氣體的混合氣體,進(jìn)行濺射沉積各種化合物膜層。離子輔助沉積:先沉積一層很薄的金屬或非金屬層,然后再引入反應(yīng)氣體離子源,將膜層進(jìn)行氧化或者氮化等。采用以上三種技術(shù)方案,在濺射沉積光學(xué)膜時(shí),都會(huì)存在靶中毒現(xiàn)象,從而導(dǎo)致膜層沉積速度非常慢,對(duì)于上節(jié)介紹各種光學(xué)膜來說,膜層厚度較厚,膜層總厚度可達(dá)數(shù)百納米。這種沉積速度顯然增加了鍍膜成本,從而限制了磁控濺射鍍膜在光學(xué)上的應(yīng)用。重慶勝利光學(xué)鍍膜設(shè)備光學(xué)鍍膜設(shè)備大概多少錢一臺(tái)?
【光學(xué)鍍膜加工需要注意什么】當(dāng)光線進(jìn)入不同傳遞物質(zhì)時(shí)(如由空氣進(jìn)入玻璃),大約有5%會(huì)被反射掉,在光學(xué)瞄準(zhǔn)鏡中有許多透鏡和折射鏡,整個(gè)加起來可以讓入射光線損失到達(dá)30%至40%?,F(xiàn)代光學(xué)透鏡通常都鍍有單層或多層氟化鎂的增透膜,單層增透膜可使反射減少至,多層增透膜則可讓反射降低至,所以整個(gè)瞄準(zhǔn)鏡如果加以適當(dāng)鍍膜,光線透穿率可達(dá)95%,鍍了單層增透膜的鏡片通常是藍(lán)紫se或是紅se,鍍多層增透膜的鏡片則呈淡綠se或暗紫se。光學(xué)鍍膜機(jī)增透膜增加透射光強(qiáng)度的實(shí)質(zhì)是作為電磁波的光波在傳播在過程中,在不同介質(zhì)的分界面上,由于邊界條件的不同,改變了其能量的分布,對(duì)于單層薄膜來說,當(dāng)增透膜兩邊介質(zhì)不同時(shí),薄膜厚度為1/4波長(zhǎng)的奇數(shù)倍且薄膜的折射率n=(n1*n2)^(1/2)時(shí)(分別是介質(zhì)1、2的折射率),才可以使入射光全部透過介質(zhì)。一般光學(xué)透鏡都是在空氣中使用,對(duì)于一般折射率在,為使單層膜達(dá)到100%的增透效果,可使n1=。
【薄膜干涉原理之光的波動(dòng)性】19世紀(jì)60年代,美國(guó)物理學(xué)家麥克斯韋發(fā)展了電磁理論,指出光是一種電磁波,使波動(dòng)說發(fā)展到了相當(dāng)完美的地步。由光的波粒二象性可知,光同無線電波、X射線、一樣都是電磁波,只是它們的頻率不同。電磁波的波長(zhǎng)λ、頻率u和傳播速率V三者之間的關(guān)系為:V=λu由于各種頻率的電磁波在真空中德傳播速度相等,所以頻率不同的電磁波,它們的波長(zhǎng)也就不同。頻率高的波長(zhǎng)短,頻率低的波長(zhǎng)長(zhǎng)。為了便于比較,可以按照無線電波、紅外線、可見光、紫外線、X射線和伽瑪射線等的波長(zhǎng)(或頻率)的大小,把它們依次排成一個(gè)譜,這個(gè)譜叫電磁波譜。在電磁波譜中,波長(zhǎng)長(zhǎng)的是無線電波,無線電波又因波長(zhǎng)的不同而分為長(zhǎng)波、中波、短波、超短波和微波等。其次是紅外線、可見光和紫外線,這三部分合稱光輻射。在所有的電磁波中,只有可見光可以被人眼所看到。可見光的波長(zhǎng)約在0.76微米到0.40微米之間,只占電磁波譜中很小的一部分。再次是X射線。波長(zhǎng)短的電磁波是y射線。光既然是一種電磁波,所以在傳播過程中,應(yīng)該變現(xiàn)出所具有的特征---干涉、衍射、偏振等現(xiàn)象。光學(xué)鍍膜設(shè)備廠家qian十。
【光學(xué)鏡片鍍膜的膜形核過程之三維核生長(zhǎng)模式(島狀生長(zhǎng))】三維形核生長(zhǎng)模式(島狀生長(zhǎng)),三維形核生長(zhǎng)模式(Volmec-Weber型),又稱之為沃爾默一韋伯型,是島狀生長(zhǎng)模式。光學(xué)鏡片鍍膜按這樣方式形成時(shí),首先是吸附于基片表面的一些原子發(fā)生遷徙的情況而形成原子團(tuán),也就是膜的形核,待至核的尺寸達(dá)到某一臨界值,也就是一個(gè)穩(wěn)定的核,而自蒸發(fā)源飛向基片的原子就在核上直接凝聚成島狀結(jié)構(gòu),再將這些小島連接起來而形成連續(xù)的一層鍍膜,所以才叫島狀的生長(zhǎng)模式。這種膜生長(zhǎng)一般是在真空鍍膜的原子間有很大的相互作用力的情況,加上鍍膜原子和基片的原子之間的相互作用力略小時(shí),便會(huì)出現(xiàn)這種島狀生長(zhǎng)方式而形成鍍膜層。真空鍍膜機(jī)故障維修技巧有哪些?云南光學(xué)鍍膜設(shè)備原理
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