【光學(xué)薄膜的研究新進(jìn)展之金剛石薄膜及類金剛石薄膜】金剛石被認(rèn)為是自然界中較硬的物質(zhì)。在自然界中，碳以3種同位素異型體的形式存在，非晶態(tài)的炭黑、六方片狀結(jié)構(gòu)的石墨和立方體的金剛石。金剛石薄膜具有高硬度、高密度、熱導(dǎo)率高、全波段透光率高、高絕緣、抗輻射、化學(xué)惰性強(qiáng)和耐高溫、彈性模量大，摩擦系數(shù)jin為。金剛石薄膜的高熱導(dǎo)率、高摩擦系數(shù)和良好的透光性也使其常作為導(dǎo)彈的整流罩材料。類金剛石(diamond-likecarbon，DLC)薄膜是碳的一種非晶態(tài)，它含有大量的sp3鍵，硬度超過(guò)金剛石硬度20%的絕緣硬質(zhì)無(wú)定形碳膜，被稱為類金剛石膜，類金剛石膜具有高硬度、高電阻率、熱傳導(dǎo)率高、化學(xué)惰性強(qiáng)、良好的光學(xué)性能等，同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳膜。隨著人們研究的深入，人們發(fā)現(xiàn)類金剛石膜具有很大的研究?jī)r(jià)值和廣fan的應(yīng)用前景，引起學(xué)術(shù)界極大興趣。美國(guó)已經(jīng)將類金剛石薄膜材料作為國(guó)家21世紀(jì)的戰(zhàn)略材料之一。 光學(xué)鍍膜機(jī)品牌有很多？上海光學(xué)鍍膜機(jī)零部件

【光學(xué)鍍膜之蒸發(fā)源的類型和特點(diǎn)】 ①電阻加熱源：用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質(zhì) 。電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。 ②高頻感應(yīng)加熱源：用高頻感應(yīng)電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質(zhì)。 ③電子束加熱源：用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。適用于蒸發(fā)溫度較高（不低于2000℃）的材料。 特點(diǎn)：能在金屬、半導(dǎo)體、絕緣體甚至塑料、紙張、織物表面上沉積金屬、半導(dǎo)體、絕緣體、不同成分比的合金、化合物及部分有基聚合物等的薄膜，其適用范圍之廣是其它方法無(wú)法與之比擬的?？梢圆煌某练e速率、不同的基板溫度和不同的蒸氣分子入射角蒸鍍成膜，因而可得到不同顯微結(jié)構(gòu)和結(jié)晶形態(tài)（單晶、多晶或非晶等）的薄膜； 薄膜的純度很高；易于在線檢測(cè)和控制薄膜的厚度與成分；厚度控制精度*高可達(dá)單分子層量級(jí)。河北北儀光學(xué)鍍膜機(jī)光學(xué)鍍膜機(jī)歡迎咨詢成都國(guó)泰真空設(shè)備有限公司。

真空鍍膜和光學(xué)鍍膜有什么區(qū)別：一、概念的區(qū)別1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件（金屬、半導(dǎo)體或絕緣體）表面而形成薄膜的一種方法。例如，真空鍍鋁、真空鍍鉻等。2、光學(xué)鍍膜是指在光學(xué)零件表面上鍍上一層(或多層)金屬(或介質(zhì))薄膜的工藝過(guò)程。在光學(xué)零件表面鍍膜的目的是為了達(dá)到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學(xué)鍍膜。

    【光學(xué)鍍膜之何為濺射鍍】用高能粒子轟擊固體表面時(shí)能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面，沉積在基片上。通常將欲沉積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?；糜谡龑?duì)靶面的陽(yáng)極上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入10～1帕的氣體（通常為氬氣），在陰極和陽(yáng)極間加幾千伏電壓，兩極間即產(chǎn)生輝光放電。放電產(chǎn)生的正離子在電場(chǎng)作用下飛向陰極，與靶表面原子碰撞，受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。①反應(yīng)濺射法：即將反應(yīng)氣體(O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物（如氧化物、氮化物等）而沉積在基片上，適用濺射化合物膜。②高頻濺射法?；b在接地的電極上，絕緣靶裝在對(duì)面的電極上。高頻電源一端接地，一端通過(guò)匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后，高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負(fù)半周分別打到絕緣靶上沉積。由于電子遷移率高于正離子，絕緣靶表面帶負(fù)電，在達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，靶處于負(fù)的偏置電位，從而使正離子對(duì)靶的濺射持續(xù)進(jìn)行，適用濺射絕緣膜。 光學(xué)鍍膜機(jī)可以制造出具有高透過(guò)率或低透過(guò)率的薄膜，可以用于制造濾光片或光學(xué)器件。

    四、光學(xué)鍍膜機(jī)的保養(yǎng)（一）定期更換擴(kuò)散泵油擴(kuò)散泵油使用一段時(shí)間，約二個(gè)月（兩班），因在長(zhǎng)期高溫環(huán)境，雖然較高真空時(shí)才啟動(dòng)擴(kuò)散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴(kuò)散泵油起反應(yīng)，擴(kuò)散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解，使其品質(zhì)下降，而延長(zhǎng)抽氣時(shí)間。在我們認(rèn)為時(shí)間延長(zhǎng)得太多時(shí)，應(yīng)予更換。（二）真空泵機(jī)械泵油、維持泵油在使用二個(gè)月，油質(zhì)會(huì)發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設(shè)備，在使用頭半個(gè)月即應(yīng)更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會(huì)加劇磨損。（三）清潔衛(wèi)生定期將設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好，常保持設(shè)備內(nèi)外清潔，將設(shè)備周圍環(huán)境整理有條，有一個(gè)好的工作環(huán)境，以保安全。 光學(xué)鍍膜機(jī)可以制造出具有不同波長(zhǎng)的光學(xué)薄膜，可以用于制造多種光學(xué)器件。黑龍江光學(xué)鍍膜機(jī)的操作

光學(xué)鍍膜機(jī)為什么會(huì)越來(lái)越慢？上海光學(xué)鍍膜機(jī)零部件

光學(xué)鍍膜通常適用于特定的入射角和特定的偏振光，例如S偏振，P偏振或隨機(jī)偏振。如果射入鍍膜的光線角度與其設(shè)計(jì)入射角不同，將導(dǎo)致性能顯著降低，如果入射角度與設(shè)計(jì)入射角偏差非常大，可能會(huì)導(dǎo)致鍍膜功能完全喪失。類似地，使用與設(shè)計(jì)偏振光不同的偏振光會(huì)產(chǎn)生錯(cuò)誤的結(jié)果。光學(xué)鍍膜由沉積電介質(zhì)和金屬材料制作而成，如交替薄膜層中的五氧化二鉭（Ta2O5）和/或氧化鋁（Al2O3）。為使應(yīng)用中的干涉達(dá)到比較大或小，鍍膜通常具有四分之一波長(zhǎng)光學(xué)厚度(QWOT)或半波光學(xué)厚度(HWOT)。這些薄膜由高折射率和低折射率層交替制成，從而誘發(fā)干涉效應(yīng)。上海光學(xué)鍍膜機(jī)零部件

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