【如何減少真空鍍膜的灰塵】1、使用的源材料要符合必要的純度要求。2、樣品取出后放置環(huán)境要注意清潔的問題。3、鍍膜一段時間后,真空室內(nèi)壁必須要清潔處理。4、清洗襯底材料,必須要做到嚴格合乎工藝要求。5、工作人員有專門的服裝,操作要戴手套、腳套等。6、適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度,有利于降低周圍環(huán)境的懸浮固體顆粒物。7、技術(shù)上明確允許的da顆粒尺寸和單位面積顆粒物的數(shù)量的上限da致是多少。8、室內(nèi)空氣流動性低、地面干凈,如果是裸露的水泥地,需要覆蓋處理。墻壁、屋頂不能使用一般的灰質(zhì)涂料粉刷。真空鍍膜機是什么樣的?安徽離子束輔助沉積射頻離子源怎么選
【真空鍍膜真空的基本概念】:真空的劃分:粗真空760Torr~10E&3Torr高真空10E&4Torr~10E&8Torr超高真空10E&9~10E&12Torr極高真空<10E&12Torr流導(dǎo)(導(dǎo)通量):表示真空管道通過氣體的能力,單位為升/秒(L/S)。一般情況下,管道越短,直徑越da,表面越光滑,越直的管道流導(dǎo)也越da。流量:單位時間內(nèi)流過任意截面的氣體量,單位為Torr·L/s或Pa·L/s。抽氣速率:在一定的壓強和溫度下,單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。單位一般為L/S或m3/hr或CFM。極限真空:真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。廣西離子束輔助沉積射頻離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)成都真空鍍膜機的生產(chǎn)廠家。
【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進,從而xianzhu地延長了電子的運動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“終電子”進入離陰極靶面較遠的弱電場區(qū),后到達陽極時已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉(zhuǎn)入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應(yīng)力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。
直流電源電壓紋波做了二次濾波處理,高壓輸出的紋波小于50mV,離子源束流的穩(wěn)定性和重復(fù)性較好,鍍膜的產(chǎn)品的折射率更穩(wěn)定。國泰真空射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個負載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達采用步進電機轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負載在不同的真空環(huán)境、不同國泰射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個負載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達采用步進電機轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負載在不同的真空環(huán)境、不同阻抗快速點火。真空鍍膜機類型推薦。
【真空鍍膜機之電鍍工藝】利用電解作用使零件表面附著一層金屬膜的工藝,從而起到防止金屬氧化,提高耐磨性、導(dǎo)電性、反光性、抗腐蝕性及增進美觀等作用,不少硬幣的外層亦為電鍍。適用材料:多數(shù)金屬可以進行電鍍但是不同的金屬具有不同等級的純度和電鍍效率。其中常見的有:錫,鉻,鎳,銀,金和銠;2.常用于電鍍的塑料為ABS。3.鎳金屬不可用于電鍍接觸皮膚的產(chǎn)品,因為鎳對皮膚有刺激性且有毒性。工藝成本:無模具費用,但需要夾具對零件進行固定/時間成本取決于溫度和金屬種類/人力成本(中-高),取決于具體電鍍件的種類,例如銀器和珠寶的電鍍就需要極高的熟練工人進行操作,因為其對外觀和耐久性的要求很高環(huán)境影響:da量有毒物質(zhì)會被用在電鍍過程中,所以需要專業(yè)的分流和提取,以確保小的環(huán)境影響。真空鍍膜機真空度多少?四川離子束清洗射頻離子源怎么選
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【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級),濺射速度可達0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前實用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機設(shè)備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputtergun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30-40%,圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse),直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。脈沖:泛用,新發(fā)展出安徽離子束輔助沉積射頻離子源怎么選