【真空鍍膜機清洗工藝之氮氣沖洗】氮氣在材料表面吸附時，由于吸附能小，因而吸留表面時間極短.即便吸附在器壁上，也很容易被抽走。利用氮氣的這種性質(zhì)沖洗真空系統(tǒng)，可以dada縮短系統(tǒng)的抽氣時間。如真空鍍膜機在放入da氣之前，先用干燥氮氣充入真空室沖刷一下再充入da氣，則下一抽氣循環(huán)的抽氣時間可縮短近一半，其原因為氮分予的吸附能遠比水氣分子小，在真空下充入氮氣后，氮分子先被真空室壁吸附了。由于吸附位是一定的，先被氮分子占滿了，其吸附的水分子就很少了，因而使抽氣時間縮短了。如果系統(tǒng)被擴散泵油噴濺污染了，還可以利用氮氣沖洗法來清洗被污染的系統(tǒng).一般是一邊對系統(tǒng)進行烘烤加熱，一邊用氮氣沖洗系統(tǒng)，可將油污染消除。真空鍍膜機廠家排名。陜西離子束刻蝕射頻離子源價格

【真空鍍膜機清洗工藝之放電清洗】利用熱絲或電極作為電子源，在其相對于待清洗的表面加負偏壓可以實現(xiàn)離子轟擊的氣體解吸及某些碳氫化合物的去除。清洗效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系。即取決于單位表面積上的離子數(shù)和離子能量，從而取決于有效電功率。在真空室中充入適當(dāng)分壓力的惰性氣體(典型的如Ar氣)，可以利用兩個適當(dāng)?shù)碾姌O間的低壓下的輝光放電產(chǎn)生的離子轟擊來達到清洗的目的。該方法中，惰性氣體被離化并轟擊真空室內(nèi)壁、真空室內(nèi)的其它結(jié)構(gòu)件及被鍍基片，它可以使某些真空系統(tǒng)免除被高溫烘烤。如果在充入的氣體中加入氧氣，對某些碳氫化合物可以獲得更好的清洗效果。因為氧氣可以使某些碳氫化合物氧化生成易揮發(fā)性氣體而容易被真空系統(tǒng)排除。不銹鋼高真空和超高真空容器表面上雜質(zhì)的主要成分是碳和碳氫化合物。一般情況下，其中的碳不能單獨揮發(fā)．經(jīng)化學(xué)清洗后，需要引入Ar或Ar+O2混合氣體進行輝光放電清洗，使表面上的雜質(zhì)和由于化學(xué)作用被束縛在表面上的氣體得到qing除。陜西離子束刻蝕射頻離子源價格射頻離子源可用于制備納米材料、薄膜、光學(xué)器件等高科技產(chǎn)品。

【真空鍍膜機之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

    本發(fā)明涉及離子束濺射鍍膜及超精密拋光技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種射頻離子源離子束束徑約束器、束徑控制裝置及方法。背景技術(shù)：離子束超精密加工研究中，離子源起著非常重要的作用。離子源是產(chǎn)生離子束流的裝置，又是離子束設(shè)備中的關(guān)鍵部件。不論是光學(xué)薄膜的制備還是納米尺度的離子束刻蝕和拋光，高性能的離子束流都是不可缺少的。目前采用的離子束源主要有考夫曼離子源、微波ecr離子源和射頻離子源，其工作原理是利用氣體放電產(chǎn)生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，并被引出成束，成為離子源。射頻離子源由德國giessen大學(xué)，，從電火箭空間應(yīng)用向地面應(yīng)用擴展而來。這種離子源具有結(jié)構(gòu)簡單、無極放電的優(yōu)點，因而對任何氣體特別是反應(yīng)氣體具有長壽命、效率高的特點。采用射頻離子源鍍制的膜層具有吸收少、漂移小、效率高、致密性好、牢固性高等優(yōu)點；同時，射頻離子源離子束拋光在超精密光學(xué)元件的**終加工中應(yīng)用也非常***，是一種去除精度達到原子級別的拋光技術(shù)，被認為是加工精度**高，修形效果**好的光學(xué)元件修形技術(shù)，在此過程中，具有一定能量和空間分布的離子束流轟擊光學(xué)元件表面，利用轟擊時發(fā)生的物理濺射效應(yīng)去除光學(xué)元件表面材料。射頻離子源可用于航空航天領(lǐng)域，如推進系統(tǒng)、導(dǎo)航系統(tǒng)等。

【真空鍍膜機有哪些污染源】真空鍍膜機是由許多精密的零部件所組成的，這些零部件均經(jīng)過許多機械加工流程而制作出來，如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因為有了這些工作，導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā)，從而對設(shè)備的極限真空造成影響。此外，這些機械加工帶來的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體，而到了真空狀態(tài)下，這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來，成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā)，將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜，對其絕緣強度有一定的損壞，對其測量的準(zhǔn)確性也有一定的影響；2、由于高溫蒸發(fā)，會使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜；3、由于工件濺射，離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被濺散物所污染；4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會被其蒸鍍靶材材料污染；5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng)，該系統(tǒng)會受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染；6、真空鍍膜設(shè)備中的擴散泵油、機械泵油等更是一da主要污染來源，鍍膜機長期工作后，設(shè)備內(nèi)部可能會形成一層油膜。成都國泰真空鍍膜機怎么樣？上海離子束輔助沉積射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)

真空鍍膜機真空度多少？陜西離子束刻蝕射頻離子源價格

【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油。方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機前，要注意檢漏。方法：啟動維持泵，關(guān)好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無法進入工作狀態(tài)。陜西離子束刻蝕射頻離子源價格