多弧離子鍍?cè)硎抢谜婵栈」夥烹娪?jì)數(shù)用于蒸發(fā)源的技術(shù)，即在真空環(huán)境下引燃蒸發(fā)源（陰極），與陽(yáng)極之間形成自持弧光放電，既從陰極弧光輝點(diǎn)放出陰極物質(zhì)的離子。由于電流局部的集中，產(chǎn)生的焦耳熱使陰極材料局部的爆發(fā)性地等離子化，在工作偏壓的作用下與反應(yīng)氣體化合，而沉積在工件表面是形成被鍍的膜層。真空蒸發(fā)鍍膜法：就是將鍍的基材放于真空鍍膜機(jī)的電極上進(jìn)行加熱，使其蒸發(fā)為氣體，由于鍍膜室處于真空狀態(tài)，所以氣體膜材的運(yùn)輸不會(huì)受到阻礙，沉積到基片表面，就形成了均勻的薄膜。真空鍍膜設(shè)備技術(shù)教程。江蘇凈下真空鍍膜設(shè)備維修

【真空鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障】: 一、 當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈） 2. 坩堝被打穿（更換坩堝） 3. 高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈） 4. 工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈） 5. 預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 6. 高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 7. 機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(kāi)（檢查繼電器是否工作正常） 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈） 9. 擋板動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈） 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃） 二、長(zhǎng)期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時(shí)間很長(zhǎng)且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空： 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清洗） 2. 擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清洗換油） 3. 前級(jí)泵反壓強(qiáng)大太機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清洗換油） 4. 各動(dòng)密封膠圈損壞（更換膠圈） 5. 由于蒸發(fā)室長(zhǎng)期溫度過(guò)高使其各密封膠圈老化（更換膠圈） 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈） 7. 各引入座螺釘、螺母有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象（重新壓緊） 8. 高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）湖北馳誠(chéng)真空鍍膜設(shè)備真空鍍膜設(shè)備日常怎么維護(hù)？

【真空鍍膜設(shè)備之渦輪分子泵】： 渦輪分子泵：渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。主要用于高真空或超高真空，屬于干泵，極限真空10&7~10&8Torr，烘烤后可到10&10Torr，抽速可從50L/S~3500L/S。分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的渦輪轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子而獲得高真空、超高真空的一種機(jī)械真空泵。泵的轉(zhuǎn)速為10000轉(zhuǎn)/分到50000轉(zhuǎn)/分，這種泵的抽速范圍很寬，但不能直接對(duì)大氣排氣，需要配置前級(jí)泵。分子泵抽速與被抽氣體的種類有關(guān)，如對(duì)氫的抽速比對(duì)空氣的抽速大20%。

【離子鍍膜法之活性反應(yīng)蒸鍍法】：活性反應(yīng)蒸鍍法(ABE):利用電子束加熱使膜材氣化；依靠正偏置探極和電子束間的低壓等離子體輝光放電或二次電子使充入的氧氣、氮?dú)?、乙炔等反?yīng)氣體離化。這種方法的特點(diǎn)是：基板溫升小，要對(duì)基板加熱，蒸鍍效率高，能獲得三氧化鋁(AL2O3)、氮化鈦(TiN)、碳化鈦(TiC)等薄膜；可用于鍍機(jī)械制品、電子器件、裝飾品。【離子鍍膜法之空心陰極離子鍍(HCD)】：空心陰極離子鍍(HCD):利用等離子電子束加熱使膜材氣化；依靠低壓大電流的電子束碰撞使充入的氣體Ar或其它惰性氣體、反應(yīng)氣體離化。這種方法的特點(diǎn)是：基板溫升小，要對(duì)基板加熱，離化率高，電子束斑較大，能鍍金屬膜、介質(zhì)膜。關(guān)于真空鍍膜設(shè)備，你知道多少？

【光學(xué)鍍膜的目的】： &反射率的提高或透射率的降低 &反射率的降低或透射率的提高 &分光作用：中性分光、變色分光、偏極光分光 &光譜帶通、帶止及長(zhǎng)波通或短波通之濾光作用 &相位改變 &液晶顯示功能之影顯 &色光顯示、色光反射、偽chao及有價(jià)證券之防止 &光波的引導(dǎo)、光開(kāi)關(guān)及集體光路 a. 在膜層中，波的干涉結(jié)果，如R%, T%都是與膜質(zhì)本身和兩邊界邊的折射率率有關(guān)系，相位變化也是如此。 b. 由于干涉作用造成的反射率有時(shí)升高，有時(shí)反而降低，都要視磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,則反射率會(huì)提高（Ns為基底），若Nf真空鍍膜設(shè)備的工作原理和構(gòu)成。湖北pvd真空鍍膜設(shè)備排名

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【磁控濺射光學(xué)鍍膜設(shè)備及鍍膜方法】設(shè)備包含真空鍍膜室、磁控濺射靶組件、立式旋轉(zhuǎn)鼓，真空鍍膜室為立式圓筒形結(jié)構(gòu)，立式旋轉(zhuǎn)鼓位于真空鍍膜室內(nèi)，繞垂直軸線旋轉(zhuǎn)，立式旋轉(zhuǎn)鼓中心設(shè)置有旋轉(zhuǎn)密封箱，旋轉(zhuǎn)密封箱內(nèi)設(shè)置有膜厚測(cè)量?jī)x表，旋轉(zhuǎn)密封箱的上部連接有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)密封箱內(nèi)的氣氛與真空鍍膜室隔離。多組磁控濺射靶組件設(shè)置在立式旋轉(zhuǎn)鼓wai圍的真空鍍膜室的側(cè)壁上。鍍膜方法包括將需要鍍膜的工件裝卡到鍍膜設(shè)備的立式旋轉(zhuǎn)鼓的側(cè)面，對(duì)鍍膜設(shè)備抽真空；轉(zhuǎn)動(dòng)立式旋轉(zhuǎn)鼓達(dá)到設(shè)定的轉(zhuǎn)速；啟動(dòng)射頻離子源；交替啟動(dòng)第一種材料的磁控靶靶和第二種材料的磁控靶，按工藝要求鍍制膜層。江蘇凈下真空鍍膜設(shè)備維修