真空鍍膜機按鍍膜方式主要可分為:蒸發(fā)式鍍膜,磁控濺射鍍膜和離子鍍。蒸發(fā)鍍膜工作原理是將膜材置于真空鍍膜室內(nèi),通過蒸發(fā)源加熱使其蒸發(fā),當(dāng)蒸發(fā)分子的平均自由程大于真空鍍膜室的線性尺寸,蒸汽的原子和分子從蒸發(fā)源表面逸出后,很少受到其他分子或原子的沖擊與阻礙,可直接到達(dá)被鍍的基片表面,由于基片溫度較低,便凝結(jié)其上而成膜。濺射鍍膜的形成是利用真空輝光放電,加速正離子使其轟擊靶材表面引起的濺射現(xiàn)象,使靶材表面放出的粒子沉積到基片上而形成薄膜。真空鍍膜設(shè)備廠家有哪些?廣東真空鍍膜設(shè)備有什么用
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之膜強度】:膜強度時鏡片鍍膜的一項重要指標(biāo),也是鍍膜工序Zui常見的不良項。膜強度的不良(膜弱)主要表現(xiàn)為:1.擦拭專yong膠帶拉撕,產(chǎn)生成片脫落2.擦拭專yong膠帶拉撕,產(chǎn)生點狀脫落3.水煮15分鐘后用專yong膠帶拉撕產(chǎn)生點狀或片狀脫落4.用專yong橡皮頭、1Kg力摩擦40次,有道子產(chǎn)生5.膜層擦拭或未擦拭出現(xiàn)龜裂紋、網(wǎng)狀細(xì)道子改善思路:基片與膜層的結(jié)合是首要考慮的,其次是膜表面硬度光滑度以及膜應(yīng)力。中國臺灣真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)生產(chǎn)廠家真空鍍膜設(shè)備的主要應(yīng)用。
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之破邊、炸裂】:一般的鍍膜會對基片加熱,由于基片是裝架在金屬圈、碟內(nèi),由于鏡圈或碟片與鏡片(基片)的熱膨脹系數(shù)不一致,冷卻過程中會造成鏡片的破便或炸裂。有些大鏡片,由于出罩時的溫度較高,與室溫的溫差較大,鏡片的熱應(yīng)力作用造成鏡片炸裂或破邊。有些零件邊緣倒邊的形狀容易造成卡圈而破邊。改善對策:1.夾具(鏡圈、碟片)的設(shè)計,在尺寸配合上要合理,充分考慮制造誤差帶來的影響。2.注意鏡圈、碟片的變形,已經(jīng)變形的夾具不能使用。3.選用合適的夾具才來哦(非導(dǎo)磁材料、不生銹、耐高溫不變性),不銹鋼較為理想(熱變形系數(shù)?。?,就是加工難度大,價格貴。4.對于大鏡片應(yīng)降低出罩時的溫度,減少溫差,防止炸裂。5.如果時鏡圈,可以考慮在鏡圈上開槽,作為緩沖。
【真空鍍膜產(chǎn)品常見不良分析及改善對策之單片膜色不均勻】: 原因:主要是由于基片凹凸嚴(yán)重,與傘片曲率差異較大,基片上部、或下部法線與蒸發(fā)源構(gòu)成的蒸發(fā)角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大,形成的膜厚差異大。另外鏡片被鏡圈(碟片)邊緣部遮擋、鏡圈(碟片)臟在蒸鍍時污染鏡片等也會造成膜色差異問題。 改善對策:改善鏡片邊緣的蒸發(fā)角 1. 條件許可,用行星夾具 2. 選用傘片平坦(R大)的機臺 3. 根據(jù)傘片孔位分布,基片形狀,制作專門的鋸齒形修正板。 4. 如果有可能,把蒸發(fā)源往真空室中間移動,也可改善單片的膜色均勻性。 5. 改善鏡圈(碟片),防止遮擋。 6. 注意旋轉(zhuǎn)傘架的相應(yīng)部位對邊緣鏡片的部分遮擋 7. 清潔鏡圈(碟片) 8. 改善膜料蒸發(fā)狀況。 真空鍍膜設(shè)備參數(shù)怎么調(diào)?
【濺射的四要素】:①靶材物質(zhì),②電磁場,③底物,④一整套完整配備的鍍膜設(shè)備【濺射收益】:1)離子每一次撞擊靶材時,靶材所釋放出的靶材原子;2)影響濺射收益的因素:①等離子體中離子動能,②入射離子的入射角度;3)Zui大濺射收益的決定因素:①入射角度在45°&50°左右,②取決于靶材物質(zhì);4)入射角度的影響因素①由電場決定,②靶材表面于入射源的相對角度?!緸R射率】:定義:每單位時間內(nèi)靶材物質(zhì)所釋放出的原子個數(shù)。濺射率的影響因素:①離子動能(取決于電源電壓和氣體壓力)②等離子密度(取決于氣體壓力和電流)。統(tǒng)計學(xué)公式:Rs(統(tǒng)計學(xué))=d/t。注:濺射原子溢出角度大部分在0~10度之間,因此在腔室內(nèi)所有區(qū)域都可能被鍍上一層膜,久之會產(chǎn)生污染。所以真空濺射腔室內(nèi)必須進(jìn)行定期清潔。真空鍍膜設(shè)備故障解決方法?湖南真空鍍膜設(shè)備市場
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【真空鍍膜改善基片與膜的結(jié)合】: 1. 加強去油去污處理,如是超聲波清洗,重點考慮去油,若是手擦,考慮先用碳酸鈣粉擦再清擦; 2. 加強鍍前烘烤; 3. 有條件時,機組安裝冷凝及(POLYCOLD); 4. 提高真空度; 5. 有條件時,機組安裝離子源; 6. 膜料的去潮; 7. 保持工作環(huán)境的干燥; 8. 對于多層膜,在膜系設(shè)計時,就要考慮第yi層膜與基片的匹配; 9. 采取研磨液復(fù)新去除鏡片表面的腐蝕層; 10. 有時候適當(dāng)降低蒸發(fā)速率對膜強度的提高有幫助,對提高膜表面光滑度有積極意義。 廣東真空鍍膜設(shè)備有什么用