【磁控濺射鍍膜的歷史】： 磁控濺射技術作為一種十分有效的薄膜沉積方法,被普遍地應用于許多方面，特別是在微電子、光學薄膜和材料表面處理等領域。1852年Grove首ci描述濺射這種物理現(xiàn)象,20世紀40年代濺射技術作為一種沉積鍍膜方法開始得到應用和發(fā)展。60年代后隨著半導體工業(yè)的迅速崛起,這種技術在集成電路生產(chǎn)工藝中,用于沉積集成電路中晶體管的金屬電極層,才真正得以普及和guang泛的應用。磁控濺射技術出現(xiàn)和發(fā)展,以及80年代用于制作CD的反射層之后,磁控濺射技術應用領域得到極大地擴展,逐步成為制造許多產(chǎn)品的一種常用手段。 【磁控濺射原理】: 電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子。氬離子在電場作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶原子，靶原子沉積在基片表面形成膜。二次電子受到磁場影響，被束縛在靶面的等離子體區(qū)域，二次電子在磁場作用下繞靶面做圓周運動，在運動過程中不斷和氬原子發(fā)生撞擊，電離出大量氬離子轟擊靶材。 【磁控濺射優(yōu)缺點】： 優(yōu)點：工藝重復性好，薄膜純度高，膜厚均勻，附著力好。 缺點：設備結(jié)構復雜，靶材利用率低。國產(chǎn)真空鍍膜設備廠商推薦。河北真空鍍膜設備自動控制系統(tǒng)

【真空鍍膜機常見故障】: 一、 當正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈） 2. 坩堝被打穿（更換坩堝） 3. 高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈） 4. 工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞（更換膠圈） 5. 預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 6. 高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 7. 機械泵停機可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否工作正常） 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈） 9. 擋板動密封處膠圈損壞（更換膠圈） 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃） 二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空： 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵（應清洗） 2. 擴散泵很久未換油（應清洗換油） 3. 前級泵反壓強大太機械泵真空度太低（應清洗換油） 4. 各動密封膠圈損壞（更換膠圈） 5. 由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈） 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈） 7. 各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊） 8. 高低預閥是否密封可靠（注油）山東真空鍍膜設備的膜厚如何測量真空鍍膜設備真空四個階段。

【真空鍍膜改善基片與膜的結(jié)合】： 1. 加強去油去污處理，如是超聲波清洗，重點考慮去油，若是手擦，考慮先用碳酸鈣粉擦再清擦； 2. 加強鍍前烘烤； 3. 有條件時，機組安裝冷凝及（POLYCOLD）； 4. 提高真空度； 5. 有條件時，機組安裝離子源； 6. 膜料的去潮； 7. 保持工作環(huán)境的干燥； 8. 對于多層膜，在膜系設計時，就要考慮第yi層膜與基片的匹配； 9. 采取研磨液復新去除鏡片表面的腐蝕層； 10. 有時候適當降低蒸發(fā)速率對膜強度的提高有幫助，對提高膜表面光滑度有積極意義。

【真空鍍膜設備】主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材?；c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結(jié)構-迷走結(jié)構-層狀生長）形成薄膜。對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過蒸發(fā)鍍膜設備+所鍍產(chǎn)品圖蒸發(fā)鍍膜設備+所鍍產(chǎn)品圖程，終形成薄膜。廣東真空鍍膜機廠家。

真空鍍膜設備具有下列優(yōu)點：沉積效率高、電離率高、設備操作簡單、成本低、生產(chǎn)能力大，且鍍膜具有耐磨、耐腐蝕、耐高溫、附著力好和不易褪色等特點。行業(yè)：五金行業(yè)、衛(wèi)浴行業(yè)、裝飾行業(yè)、家用電器行業(yè)等。適用產(chǎn)品：水龍頭、樓梯扶手、家用電器、LOGO標牌、不銹鋼展架、不銹鋼材及板材等。涂層效果：鈦、玫瑰金、香檳金、日本金、銀、七彩、藍寶石、玫瑰紅、黑色等。本系列設備安全、生態(tài)環(huán)境保護、工藝穩(wěn)定、漆膜色澤豐富、色澤均勻、耐磨、耐腐蝕、耐高溫、附著力好、不易褪色。關于真空鍍膜機，你知道多少？河北真空鍍膜設備自動控制系統(tǒng)

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【光譜分光不良的補救（補色）之機器故障和人為中斷】：分光不良分為二種情況：一是全部膜系鍍制完成后，經(jīng)測試分光不良，此類不良主要按六節(jié)所述方法處理，一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷（包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷）造成的分光不良，一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確，補救成功率比較高。中斷的原因形式之機器故障和人為中斷：模擬：根據(jù)已經(jīng)實鍍的鏡片（測試比較片）實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設計程序的優(yōu)化目標值，再根據(jù)已經(jīng)掌握的膜系信息輸入，采用倒推法逐層優(yōu)化，模擬出實際鍍制的膜系數(shù)據(jù)。*測試比較片是指隨鏡片一起鍍制（在傘片上、與鏡片同折射率），用于測試鍍后分光曲線的平片。優(yōu)化：再鎖定通過模擬得到的膜系數(shù)據(jù)，通過后續(xù)層膜厚優(yōu)化找到實現(xiàn)目標的Zui佳方案。試鍍：根據(jù)新優(yōu)化的后續(xù)膜層數(shù)據(jù)，試鍍?nèi)舾社R片或測試片，確認補色膜系的可行性。補色鍍：對試鍍情況確認后實施補色鍍。補色鍍前，確認基片是否潔凈，防止產(chǎn)生其他不良。河北真空鍍膜設備自動控制系統(tǒng)