本發(fā)明涉及離子束濺射鍍膜及超精密拋光技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種射頻離子源離子束束徑約束器、束徑控制裝置及方法。背景技術(shù):離子束超精密加工研究中,離子源起著非常重要的作用。離子源是產(chǎn)生離子束流的裝置,又是離子束設(shè)備中的關(guān)鍵部件。不論是光學(xué)薄膜的制備還是納米尺度的離子束刻蝕和拋光,高性能的離子束流都是不可缺少的。目前采用的離子束源主要有考夫曼離子源、微波ecr離子源和射頻離子源,其工作原理是利用氣體放電產(chǎn)生等離子體,等離子體由電子、離子和中性粒子所組成,并被引出成束,成為離子源。射頻離子源由德國giessen大學(xué),,從電火箭空間應(yīng)用向地面應(yīng)用擴展而來。這種離子源具有結(jié)構(gòu)簡單、無極放電的優(yōu)點,因而對任何氣體特別是反應(yīng)氣體具有長壽命、效率高的特點。采用射頻離子源鍍制的膜層具有吸收少、漂移小、效率高、致密性好、牢固性高等優(yōu)點;同時,射頻離子源離子束拋光在超精密光學(xué)元件的**終加工中應(yīng)用也非常***,是一種去除精度達到原子級別的拋光技術(shù),被認為是加工精度**高,修形效果**好的光學(xué)元件修形技術(shù),在此過程中,具有一定能量和空間分布的離子束流轟擊光學(xué)元件表面,利用轟擊時發(fā)生的物理濺射效應(yīng)去除光學(xué)元件表面材料。真空鍍膜機機組是怎樣的?四川射頻離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)
且多個葉片2的尾端22伸入中空結(jié)構(gòu)11圍合的區(qū)域中以形成可供離子束穿過的光闌3,驅(qū)動機構(gòu)可驅(qū)動葉片2的尾端22相對葉片排布形成的圓周的中心運動,從而使得葉片2圍合形成的光闌3的大小得以調(diào)節(jié),即對離子束的束徑進行調(diào)節(jié)。作為一種推薦實施例,葉片2的首端21與底座1的對應(yīng)端面轉(zhuǎn)動連接,葉片2的尾端22沿葉片2排布形成的圓周周向依次疊放并斜向伸入中空結(jié)構(gòu)11所在區(qū)域以形成光闌3,驅(qū)動機構(gòu)包括滑環(huán)41及驅(qū)動滑環(huán)41繞滑環(huán)41中心旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動組件,滑環(huán)41位于多個葉片2的遠離底座1的一側(cè)并與多個葉片2排布形成的圓周同軸設(shè)置,滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時帶動葉片2的尾端22繞葉片2的首端21轉(zhuǎn)動以實現(xiàn)光闌3大小調(diào)節(jié),也即滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時,由于葉片2的首端21與底座1一端端面轉(zhuǎn)動連接,葉片2的首端21相對葉片2圍合形成的圓周的中心距離不會變化,而葉片2的尾端22則會相對于葉片2排布形成的圓周的中心進行運動,從而使葉片2的尾端22相交圍合形成的光闌3大小變化。并且為了使光闌3的形狀更趨近于圓形,葉片2具有朝向葉片2排布形成的圓周的圓弧方向同向彎曲的圓弧形狀,同時,當葉片2的數(shù)量越多時,光闌3的形狀更趨近于圓形。具體而言,底座1的對應(yīng)端的端面上設(shè)有多個呈圓周布置的定位孔12。黑龍江大直徑射頻離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)真空鍍膜機類型推薦。
【真空鍍膜機清洗工藝之紫外線輻照清洗】利用紫外輻照來分解表面上的碳氫化合物。例如,在空氣中照射15h就可產(chǎn)生清潔的玻璃表面。如果把適當預(yù)清洗的表面放在一個產(chǎn)生臭氧的紫外線源中.要不了幾分鐘就可以形成清潔表面(工藝清潔)。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機理是:在紫外線照射下,污物分子受激并離解,而臭氧的生成和存在產(chǎn)生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產(chǎn)生的自由基與原子態(tài)氧作用.形成較簡單易揮發(fā)分子.如H203、CO2和N2.其反應(yīng)速率隨溫度的增加而增加。
【真空鍍膜之材料表面處理】表面處理:是在基體材料表面上人工形成一層與基體的機械、物理和化學(xué)性能不同的表層的工藝方法。表面處理的目的是滿足產(chǎn)品的耐蝕性、耐磨性、裝飾或其他特種功能要求。我們比較常用的表面處理方法是,機械打磨,化學(xué)處理,表面熱處理,噴涂表面,表面處理就是對工件表面進行清潔、清掃、去毛刺、去油污、去氧化皮等。常用表面處理的工藝有:真空電鍍、電鍍工藝、陽極氧化、電解拋光、移印工藝、鍍鋅工藝、粉末噴涂、水轉(zhuǎn)印、絲網(wǎng)印刷、電泳等。真空鍍膜機詳細鍍膜方法。
【真空鍍膜機之真空電鍍】真空電鍍是一種物理沉積現(xiàn)象。即在真空狀態(tài)下注入氬氣,氬氣撞擊靶材,靶材分離成分子被導(dǎo)電的貨品吸附形成一層均勻光滑的仿金屬表面層。適用材料:1、很多材料可以進行真空電鍍,包括金屬,軟硬塑料,復(fù)合材料,陶瓷和玻璃。其中*常見用于電鍍表面處理的是鋁材,其次是銀和銅。2、自然材料不適合進行真空電鍍處理,因為自然材料本身的水分會影響真空環(huán)境。工藝成本:真空電鍍過程中,工件需要噴涂,裝載,卸載和再噴涂,所以人力成本相當高,但是也取決于工件的復(fù)雜度和數(shù)量。環(huán)境影響:真空電鍍對環(huán)境污染很小,類似于噴涂對環(huán)境的影響。紅外真空鍍膜機制造商。甘肅射頻離子源生產(chǎn)廠家
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【真空鍍膜之金屬拉絲】金屬拉絲:是指通過研磨產(chǎn)品在工件表面形成線紋,并且起到裝飾效果的一種表面處理手段。根據(jù)拉絲后紋路的不同可分為:直紋拉絲、亂紋拉絲、波紋、旋紋適用材料:幾乎所有的金屬材料都可以使用金屬拉絲工藝工藝成本:工藝方法簡單,設(shè)備需求簡單,材料消耗比較少,成本比較低廉,經(jīng)濟效益尤其高環(huán)境影響:純金屬制品,表面無油漆等任何化學(xué)化工物質(zhì),600度高溫不燃燒,不會產(chǎn)生有毒氣體,符合消防標準的環(huán)保要求四川射頻離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)