【光學(xué)鍍膜之什么是蒸發(fā)鍍】通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為蒸發(fā)鍍膜。蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。 薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(shí)(或決定于裝料量),并與源和基片的距離有關(guān)。對于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。蒸氣分子平均動(dòng)能約為0.1~0.2電子伏。真空鍍膜機(jī)技術(shù)教程。山東gmk光學(xué)鍍膜機(jī)
光學(xué)鍍膜通常適用于特定的入射角和特定的偏振光,例如S偏振,P偏振或隨機(jī)偏振。如果射入鍍膜的光線角度與其設(shè)計(jì)入射角不同,將導(dǎo)致性能顯著降低,如果入射角度與設(shè)計(jì)入射角偏差非常大,可能會導(dǎo)致鍍膜功能完全喪失。類似地,使用與設(shè)計(jì)偏振光不同的偏振光會產(chǎn)生錯(cuò)誤的結(jié)果。光學(xué)鍍膜由沉積電介質(zhì)和金屬材料制作而成,如交替薄膜層中的五氧化二鉭(Ta2O5)和/或氧化鋁(Al2O3)。為使應(yīng)用中的干涉達(dá)到比較大或小,鍍膜通常具有四分之一波長光學(xué)厚度(QWOT)或半波光學(xué)厚度(HWOT)。這些薄膜由高折射率和低折射率層交替制成,從而誘發(fā)干涉效應(yīng)。山西ar光學(xué)鍍膜機(jī)光學(xué)鍍膜機(jī)詳細(xì)鍍膜方法。
【光學(xué)鍍膜機(jī)電子qiang打火問題】電子qiang在蒸鍍時(shí),由于電子束中的電子與氣體分子和蒸發(fā)材料的蒸汽發(fā)生碰撞產(chǎn)生的離子轟擊帶負(fù)電高壓電極及其引線,即產(chǎn)生打火。另外,若這些帶負(fù)高壓電的部分有塵粒等雜物,會使該處電場集中了容易打火。故電子束蒸鍍設(shè)備的高壓電源都附有高壓自動(dòng)滅弧復(fù)位裝置,在打火非常嚴(yán)重時(shí)才會自動(dòng)切斷高壓,然后又自動(dòng)恢復(fù),切斷與恢復(fù)的時(shí)間愈短,愈不會影響蒸鍍工藝。高壓引線應(yīng)盡量短,并用接地良好的不銹鋼板屏蔽住,不要追求美觀把引線彎來彎去。qiang頭金屬件和引線定期用細(xì)砂紙打光,然后用丙tong清洗干凈。上螺釘?shù)穆菘锥ㄆ谟媒z錐攻螺孔,以便螺釘上下方便并保證壓的很緊。所有陶瓷件污染后應(yīng)予更換。電子qiang體應(yīng)可靠接地。對放氣量大的材料應(yīng)充分預(yù)熱以徹底除氣。蒸鍍時(shí)功率要合適,不可過高造成材料飛濺。高壓饋線與高壓絕緣子金屬件的接線一定要可靠并經(jīng)常檢查,以免增大接觸電阻造成發(fā)熱而燒壞。
三、方法和材料的區(qū)別1、真空鍍膜的方法材料:(1)真空蒸鍍:將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室,抽空后將膜料加熱到高溫,使蒸氣達(dá)到約,凝結(jié)而成薄膜。(2)陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對面,把惰性氣體(如氬)通入已抽空的室內(nèi),保持壓強(qiáng)約~,然后將陰極接上2000V的直流電源,便激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體上形成膜。(3)化學(xué)氣相沉積:通過熱分解所選定的金屬化合物或有機(jī)化合物,獲得沉積薄膜的過程。(4)離子鍍:實(shí)質(zhì)上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機(jī)結(jié)合,兼有兩者的工藝特點(diǎn)。表6-9列出了各種鍍膜方法的優(yōu)缺點(diǎn)。真空鍍膜機(jī)參數(shù)怎么調(diào)?
【光學(xué)薄膜制備技術(shù)之物理qi相學(xué)沉積(PVD)】物理qi相沉積法,簡單地說是在真空環(huán)境中加熱薄膜材料使其成為蒸汽,蒸汽再凝結(jié)到溫度相對低的基片上形成薄膜。根據(jù)膜料汽化方式的不同,又分為熱蒸發(fā)、濺射、離子鍍及離子輔助鍍技術(shù)。1)熱蒸發(fā):光學(xué)薄膜器件主要采用真空環(huán)境下的熱蒸發(fā)方法制造,此方法簡單、經(jīng)濟(jì)、操作方便。2)濺射:指用高速正離子轟擊膜料(靶)表面,通過動(dòng)量傳遞,使其分子或原子獲得足夠的動(dòng)能而從靶表面逸出(濺射),在被鍍件表面凝聚成膜。其膜層附著力強(qiáng),純度高,可同時(shí)濺射多種不同成分的合金膜或化合物。3)離子鍍:兼有熱蒸發(fā)的高成膜速率和濺射高能離子轟擊獲得致密膜層的雙優(yōu)效果,離子鍍膜層附著力強(qiáng)、致密。離子鍍常見類型:蒸發(fā)源和離化方式。4)離子輔助鍍:在熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)中增設(shè)離子發(fā)生器—離子源,產(chǎn)生離子束,在熱蒸發(fā)進(jìn)行的同時(shí),用離子束轟擊正在生長的膜層,形成致密均勻結(jié)構(gòu)(聚集密度接近于1),使膜層的穩(wěn)定性提高,達(dá)到改善膜層光學(xué)和機(jī)械性能。 光學(xué)鍍膜機(jī)廠家排名。重慶光學(xué)鍍膜機(jī)計(jì)量單位
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【光學(xué)鍍膜的理論】鍍膜控制穿過光學(xué)干涉機(jī)制的反射光和透射光。當(dāng)兩個(gè)光束沿著同步路徑傳輸及其相位匹配時(shí),波峰值的空間位置也匹配并將結(jié)合創(chuàng)建較大的總振幅。當(dāng)光束為反相位(180°位移)時(shí),其疊加會導(dǎo)致在所有峰值的消減效應(yīng),導(dǎo)致結(jié)合的振幅降低。這些效應(yīng)被分別稱為建設(shè)性和破壞性的干涉。光的波長和入射角通常是指定的,折射率和層厚度則可以有所不同以優(yōu)化性能。上述的任何更改將會影響鍍膜內(nèi)光線的路徑長度,并將在光透射時(shí)改變相位值。這種效應(yīng)可簡單地通過單層增透膜例子說明。當(dāng)光傳輸穿過系統(tǒng)時(shí),在鍍膜任一側(cè)的兩個(gè)接口指數(shù)更改處將出現(xiàn)反射。為了使反射Z小化,當(dāng)兩個(gè)反射部分在diyi界面處結(jié)合時(shí),我們希望它們之間具有180°相位差。這個(gè)相位差異直接對應(yīng)于aλ/2位移的正弦波,它可通過將層的光學(xué)厚度設(shè)置為λ/4獲得Z佳實(shí)現(xiàn)。山東gmk光學(xué)鍍膜機(jī)