【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)原則及常用技術(shù)指標(biāo)】真空設(shè)備設(shè)計(jì)原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計(jì)，后校核。由粗到細(xì)。鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo)：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時(shí)間、恢復(fù)真空時(shí)間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;高電壓。成都真空鍍膜機(jī)的生產(chǎn)廠家。四川離子束清洗射頻離子源

【真空鍍膜機(jī)鍍塑料件時(shí)抽真空時(shí)間過(guò)長(zhǎng)是什么原因？】(1)真空室有漏氣現(xiàn)象：da家都知道，真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)是的基本條件是工件在真空狀態(tài)下才能進(jìn)行鍍膜加工的，若真空室有漏氣現(xiàn)象而沒(méi)有經(jīng)過(guò)檢漏找出漏氣位置，則真空鍍很長(zhǎng)時(shí)間都不能抽得上來(lái)的；(2)即使真空室沒(méi)有漏氣，因?yàn)樗芰袭a(chǎn)品的放氣量da，所以抽真空，特別是高真空很難達(dá)到。真空室內(nèi)太臟放氣，而且由于塑料產(chǎn)品的放氣，造成真空室內(nèi)鍍膜氣體的不純，有雜氣的存在，造成鍍膜產(chǎn)品的顏色發(fā)暗，發(fā)黃，發(fā)黑等。（3）也許是真空機(jī)組的抽氣能力不夠了，油被污染或氧化了。上海離子束輔助沉積射頻離子源制造生產(chǎn)射頻離子源是一種高能離子源，可用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。

【如何減少真空鍍膜的灰塵】1、使用的源材料要符合必要的純度要求。2、樣品取出后放置環(huán)境要注意清潔的問(wèn)題。3、鍍膜一段時(shí)間后，真空室內(nèi)壁必須要清潔處理。4、清洗襯底材料，必須要做到嚴(yán)格合乎工藝要求。5、工作人員有專門(mén)的服裝，操作要戴手套、腳套等。6、適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度，有利于降低周圍環(huán)境的懸浮固體顆粒物。7、技術(shù)上明確允許的較da顆粒尺寸和單位面積顆粒物的數(shù)量的上限da致是多少。8、室內(nèi)空氣流動(dòng)性低、地面干凈，如果是裸露的水泥地，需要覆蓋處理。墻壁、屋頂不能使用一般的灰質(zhì)涂料粉刷。

    達(dá)到修正面形誤差的目的，其加工精度達(dá)到納米級(jí)。射頻(rf)離子源采用磁感應(yīng)產(chǎn)生等離子體，因此是無(wú)極放電，放電室內(nèi)鎢燈絲作為陰極，鎢燈絲可在反應(yīng)氣體中長(zhǎng)時(shí)間工作，**降低了對(duì)離子束帶來(lái)的污染。由于射頻感應(yīng)產(chǎn)生的等離子體中只有單電荷離子而幾乎沒(méi)有雙電荷離子，因此使屏柵濺射引起的污染尤為小，同時(shí)也增加了離子束的均勻性。rf射頻離子源采用特殊的三柵離子光學(xué)系統(tǒng)，既提高了拔出效率，又保證了結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性及防污染的可靠性。離子源工作時(shí)，氣體通過(guò)石英放電室，通過(guò)，離化氣體產(chǎn)生等離子體。帶電粒子經(jīng)由靜電場(chǎng)加速，控制離子束電壓，增大放電室功率，提高放電等離子體濃度，在經(jīng)過(guò)離子三柵光學(xué)系統(tǒng)的聚焦加速形成一定能量的離子束。現(xiàn)有技術(shù)中的射頻離子源離子束束徑是通過(guò)位于離子源內(nèi)部的三級(jí)柵網(wǎng)設(shè)計(jì)的位置及形狀進(jìn)行調(diào)節(jié)的，調(diào)節(jié)時(shí)需要反復(fù)更換柵網(wǎng)以實(shí)現(xiàn)束徑調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)效率低，同時(shí)，現(xiàn)有的柵網(wǎng)均為曲面柵網(wǎng)，如圖1所示，從而使得加工制造較為困難，并且很難保證曲面弧度及孔徑的加工精度，加工成本高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種束徑調(diào)節(jié)方便的射頻離子源離子束束徑約束器。真空鍍膜機(jī)該如何維修。

【不同類型鍍膜機(jī)應(yīng)用范圍介紹】不同類型鍍膜機(jī)的適用范圍介紹1.磁控濺射鍍膜設(shè)備：應(yīng)用于信息存儲(chǔ)領(lǐng)域，如磁信息存儲(chǔ)、磁光信息存儲(chǔ)等2.磁控濺射鍍膜機(jī)：應(yīng)用于防護(hù)涂層，如飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片、汽車鋼板、散熱片等3.磁控濺射鍍Al膜生產(chǎn)線：應(yīng)用于太陽(yáng)能利用領(lǐng)域，如太陽(yáng)能集熱管、太陽(yáng)能電池等4.AZO透明導(dǎo)電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線：應(yīng)用于信息顯示領(lǐng)域，如液晶屏、等離子屏等5.觸摸屏連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線：應(yīng)用于觸摸屏領(lǐng)域，如手機(jī)、電腦、MP4等數(shù)碼產(chǎn)品屏幕等。6.磁控中頻多弧離子鍍膜設(shè)備：應(yīng)用于硬質(zhì)涂層，如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。7.PECVD磁控生產(chǎn)線：應(yīng)用于集成電路制造，如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。8.蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備：應(yīng)用于在裝飾飾品上，如手機(jī)殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。9.低輻射玻璃鍍膜生產(chǎn)線：應(yīng)用于建筑玻璃方面，如陽(yáng)光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等。10.抗反射導(dǎo)電膜連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線：應(yīng)用于電子產(chǎn)品領(lǐng)域，如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機(jī)顯示、數(shù)碼相機(jī)和掌上電腦等。真空鍍膜機(jī)故障解決方法？山西離子束濺射射頻離子源制造生產(chǎn)

真空鍍膜機(jī)抽真空步驟。四川離子束清洗射頻離子源

【真空鍍膜機(jī)之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥，用來(lái)連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。四川離子束清洗射頻離子源