【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)原則及常用技術(shù)指標(biāo)】真空設(shè)備設(shè)計(jì)原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計(jì)，后校核。由粗到細(xì)。鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo)：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時(shí)間、恢復(fù)真空時(shí)間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;高電壓。電子束蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)是什么？上海離子束輔助沉積射頻離子源價(jià)格

【真空鍍膜機(jī)之卷繞機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)中應(yīng)考慮的問(wèn)題】①提高卷繞速度的問(wèn)題。卷繞速度即是帶狀基材運(yùn)動(dòng)的線速度，它是卷繞機(jī)構(gòu)的一個(gè)主要技術(shù)指櫟。國(guó)內(nèi)早期鍍膜機(jī)卷繞速度只有10m/min，現(xiàn)在也只有80m/min～120m/min，在國(guó)外日本的EW系列產(chǎn)品中，其卷繞速度已達(dá)到300m/min，德國(guó)L．H公司生產(chǎn)的鍍膜機(jī)已達(dá)到600m/min，可見(jiàn)隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展，卷繞速度有待提高。②帶狀基材的線速恒定問(wèn)題。這一問(wèn)題也很重要，因?yàn)橹挥芯砝@機(jī)構(gòu)保證帶狀基材的線速恒定，才能使基材上鍍層厚度均勻。這一點(diǎn)對(duì)制備帶狀基材的功能性膜（如電容器膜）尤為重要。③帶狀基材的跑偏和起褶問(wèn)題。隨著卷繞速度的提高，帶狀基材在卷繞鍍膜過(guò)程中，起褶和發(fā)生偏斜，嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成基材的斷裂，使生產(chǎn)中斷，既影響生產(chǎn)效率，又浪費(fèi)材料。因此，在卷繞機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)中應(yīng)充分考慮這一問(wèn)題。上海光學(xué)鍍膜射頻離子源制造生產(chǎn)廠家真空鍍膜機(jī)抽真空步驟。

    本申請(qǐng)還涉及一種射頻離子源離子束束徑控制方法，也即采用上述束徑控制裝置進(jìn)行離子束束徑控制的方法，包括以下步驟：s1，對(duì)真空腔體5進(jìn)行抽真空；s2，打開(kāi)離子束發(fā)生器7，調(diào)整電壓電流參數(shù)；s3，在控制器6的輸入界面中輸入離子束束徑值；s4，點(diǎn)擊控制器6的執(zhí)行按鈕，控制器6向驅(qū)動(dòng)器8發(fā)出指令，驅(qū)動(dòng)器8控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作；s5，驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)滑環(huán)41轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)導(dǎo)柱24在導(dǎo)槽42中滑動(dòng)，葉片2繞固定軸23轉(zhuǎn)動(dòng)使光闌3大小與輸入的離子束束徑值一致。下面給出一種采用該方法進(jìn)行拋光的具體步驟：1、打開(kāi)離子束拋光系統(tǒng)電源、水冷裝置、工作氬氣等；2、放置光學(xué)元件，采用合適夾具將光學(xué)元件固定；3、對(duì)真空腔體進(jìn)行抽真空，保證實(shí)驗(yàn)的真空狀態(tài)，且真空腔體壓強(qiáng)需達(dá)到×10-3pa以上；4、打開(kāi)離子源也即離子束發(fā)生器，調(diào)整好離子源的電壓電流等參數(shù)；5、根據(jù)被拋光元件尺寸及檢測(cè)后的面形參數(shù)情況選擇離子束束徑，將離子束束徑參數(shù)輸入控制器的計(jì)算機(jī)控制界面；6、點(diǎn)擊控制器的執(zhí)行按鈕，控制器向驅(qū)動(dòng)器發(fā)出指令，驅(qū)動(dòng)器控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作；7，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)導(dǎo)柱在導(dǎo)槽中滑動(dòng)，葉片繞固定軸轉(zhuǎn)動(dòng)使光闌大小與輸入的離子束束徑值一致；8、控制離子束垂直入射法拉第杯。

射頻中和器采用L型接法匹配：匹配速度快，效率高，點(diǎn)火更優(yōu)。源頭和中和器結(jié)構(gòu)經(jīng)常拆解部分的內(nèi)六角進(jìn)行電鍍及消氣處理，防止拆卸過(guò)程卡死，備件及耗品重復(fù)利用率高。射頻電源及控制部分單獨(dú)裝配在一個(gè)電柜內(nèi)，RF線纜做防輻射和泄漏處理，避免對(duì)通訊、控制信號(hào)的干擾，同時(shí)也做良好的散熱處理。直流電源電壓紋波做了二次濾波處理，高壓輸出的紋波小于50mV，離子源束流的穩(wěn)定性和重復(fù)性較好，鍍膜的產(chǎn)品的折射率更穩(wěn)定。射頻部分匹配采用了硬件反饋和軟件提前記憶并預(yù)判的技術(shù)；直流引入快速滅弧技術(shù)，同時(shí)提高了射頻和直流部分的穩(wěn)定性，軟件設(shè)置了自檢和自診斷功能，即：使用前系統(tǒng)自檢，使用中即時(shí)刷新，對(duì)非調(diào)整性輸入的變化提前警報(bào)并告知客戶做好預(yù)案。真空鍍膜機(jī)的產(chǎn)業(yè)集群。

【真空鍍膜機(jī)之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥，用來(lái)連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。真空鍍膜機(jī)機(jī)組是怎樣的？上海離子束輔助沉積射頻離子源價(jià)格

光學(xué)真空鍍膜機(jī)制造商。上海離子束輔助沉積射頻離子源價(jià)格

【真空鍍膜之電解拋光】電拋光是一種電化學(xué)過(guò)程，其中浸沒(méi)在電解質(zhì)中的工件的原子轉(zhuǎn)化成離子，并由于電流的通過(guò)而從表面移除，從而達(dá)到工件表面除去細(xì)微毛刺和光亮度增da的效果。適用材料：多數(shù)金屬都可以被電解拋光，其中常用于不銹鋼的表面拋光（尤其適用于奧氏體核級(jí)不銹鋼）。2.不同材料不可同時(shí)進(jìn)行電解拋光，甚至不可以放在同一個(gè)電解溶劑里。工藝成本：電解拋光整個(gè)過(guò)程基本由自動(dòng)化完成，所以人工費(fèi)用很低。環(huán)境影響：電解拋光采用危害較小的化學(xué)物質(zhì)，整個(gè)過(guò)程需要少量的水且操作簡(jiǎn)單，另外可以延長(zhǎng)不銹鋼的屬性，起到讓不銹鋼延緩腐蝕的作用。上海離子束輔助沉積射頻離子源價(jià)格