【真空鍍膜機(jī)概述】：真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子搶加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜機(jī)構(gòu)造的五da系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)。真空鍍膜三要素：真空度、抽氣時(shí)間、溫度；任何鍍膜工藝都需要為這三個(gè)要素設(shè)定目標(biāo)值；因此，只有當(dāng)三個(gè)條件同時(shí)滿足時(shí)，自動(dòng)化程序才會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。真空鍍膜機(jī)需要做定期定期保養(yǎng)，目的在于：讓鍍膜機(jī)能長(zhǎng)時(shí)間地正常運(yùn)轉(zhuǎn)；降低故障時(shí)間，避免影響產(chǎn)能，減少損失；提高機(jī)器精度，穩(wěn)定品質(zhì)；加快抽氣速度，提升機(jī)器利用率等。廣東真空鍍膜機(jī)廠家。廣西玻璃鍍膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)

【真空鍍膜機(jī)電控柜的操作】1、玻璃真空鍍膜機(jī)開(kāi)水泵、氣源2、開(kāi)總電源3、開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。4、開(kāi)機(jī)械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開(kāi)前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開(kāi)電子qiang電源。黑龍江空心陰極霍爾離子源多少錢(qián)真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域。

【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)原則及常用技術(shù)指標(biāo)】真空設(shè)備設(shè)計(jì)原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計(jì)，后校核。由粗到細(xì)。鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo)：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時(shí)間、恢復(fù)真空時(shí)間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;高電壓。

【真空鍍膜技術(shù)專(zhuān)業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuumcoating：在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法?；瑂ubstrate：膜層承受體。試驗(yàn)基片testingsubstrate：在鍍膜開(kāi)始、鍍膜過(guò)程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和（或）試驗(yàn)的基片。鍍膜材料coatingmaterial：用來(lái)制取膜層的原材料。蒸發(fā)材料evaporationmaterial：在真空蒸發(fā)中用來(lái)蒸發(fā)的鍍膜材料。濺射材料sputteringmaterial：有真空濺射中用來(lái)濺射的鍍膜材料。膜層材料(膜層材質(zhì))filmmaterial：組成膜層的材料。蒸發(fā)速率evaporationrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔濺射速率sputteringrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔。沉積速率depositionrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。鍍膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。真空鍍膜機(jī)廠家qian十。

【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場(chǎng)，在此區(qū)電子密度高，進(jìn)而提高離子密度，使得濺鍍率提高(一個(gè)數(shù)量級(jí))，濺射速度可達(dá)0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳，是目前實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室，排氣系統(tǒng)，濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang（sputtergun）。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型，其中平面型分為矩型和圓型，靶材料利用率30-40%，圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為：直流（DC）、射頻（RF）、脈沖（pulse），直流：800-1000V（Max）導(dǎo)體用，須可災(zāi)弧。射頻：13.56MHZ，非導(dǎo)體用。脈沖：泛用，新發(fā)展出空心陰極霍爾離子源可用于制備納米材料、薄膜、光學(xué)涂層等。廣西玻璃鍍膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)

真空鍍膜機(jī)詳細(xì)鍍膜方法。廣西玻璃鍍膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)

【真空鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障之旋片泵故障及處理方法】1、未做保養(yǎng)導(dǎo)致灰塵太多。真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過(guò)程中容易產(chǎn)生da量灰塵，這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中，時(shí)間久了容易對(duì)轉(zhuǎn)子及泵腔造成磨損及破壞。處理方法：如果灰塵不多，可以油過(guò)濾系統(tǒng)除掉灰塵；如果灰塵過(guò)多可以用除塵器配合油過(guò)濾系統(tǒng)除掉灰塵。2、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油，冒煙。處理方法：冒煙闡明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門(mén)、容器有修理的狀況。3、噴油，闡明進(jìn)氣口外有da量的漏點(diǎn)，以至是進(jìn)氣口暴露da氣。處理方法：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，假如不噴油的話，闡明有漏點(diǎn)；排氣閥片損壞，檢查排氣閥片能否損壞，改換壞的排氣閥片。4、被抽氣體的溫度可能過(guò)高。處理方法：降低被抽氣體的溫度，或能夠加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。5、配合的間隙改da。這是長(zhǎng)期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法：檢查間隙能否過(guò)da，改換新的零部件。6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒(méi)有堅(jiān)持一定量的油量。處理方法：檢查油路能否暢通，并加同類(lèi)型的真空泵油。廣西玻璃鍍膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)