【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級),濺射速度可達0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前實用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機設(shè)備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputtergun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30-40%,圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse),直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。脈沖:泛用,新發(fā)展出真空鍍膜機品牌有很多,你如何選擇?廣西光學(xué)薄膜卷繞真空鍍膜定制化設(shè)計制造
【真空鍍膜機之真空泵的安裝和指導(dǎo)】真空泵安裝指導(dǎo)1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實堅固的場所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護、保養(yǎng)。2、泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動小。3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應(yīng)qing除管道中焊渣,嚴禁焊渣進入泵腔。)4、在連接管路中,用戶可在泵進氣口上方安裝閥門及真空計,隨時可檢查泵的極限壓力。5、按電動機標牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。6、泵通電試運轉(zhuǎn)時,須取下電機皮帶,確認泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉(zhuǎn)噴油。(轉(zhuǎn)向按防護罩指示方向)7、對于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。8、如泵口安裝電磁閥時,閥與泵應(yīng)同時動作。9、當(dāng)泵排出氣體影響工作環(huán)境時,可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。湖北PVC鍍膜卷繞真空鍍膜怎么選真空鍍膜機抽真空步驟。
【不同類型鍍膜機應(yīng)用范圍介紹】不同類型鍍膜機的適用范圍介紹1.磁控濺射鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于信息存儲領(lǐng)域,如磁信息存儲、磁光信息存儲等2.磁控濺射鍍膜機:應(yīng)用于防護涂層,如飛機發(fā)動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等3.磁控濺射鍍Al膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于太陽能利用領(lǐng)域,如太陽能集熱管、太陽能電池等4.AZO透明導(dǎo)電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于信息顯示領(lǐng)域,如液晶屏、等離子屏等5.觸摸屏連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于觸摸屏領(lǐng)域,如手機、電腦、MP4等數(shù)碼產(chǎn)品屏幕等。6.磁控中頻多弧離子鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于硬質(zhì)涂層,如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。7.PECVD磁控生產(chǎn)線:應(yīng)用于集成電路制造,如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。8.蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備:應(yīng)用于在裝飾飾品上,如手機殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。9.低輻射玻璃鍍膜生產(chǎn)線:應(yīng)用于建筑玻璃方面,如陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等。10.抗反射導(dǎo)電膜連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線:應(yīng)用于電子產(chǎn)品領(lǐng)域,如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機顯示、數(shù)碼相機和掌上電腦等。
【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等高,Ti,Mo,Ta,W等低。一般在0.1-10原子/離子。離子可以直流輝光放電(glowdischarge)產(chǎn)生,在10-1—10Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。正常輝光放電(glowdischarge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點材料也容易濺鍍,但對非導(dǎo)體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬<5W/cm2。該技術(shù)可以應(yīng)用于多種行業(yè),如電子、光學(xué)、醫(yī)療、航空航天等,可以提高產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。
【真空鍍膜機清洗工藝要求】真空工藝進行前應(yīng)清洗真空材料,從工件或系統(tǒng)材料表面qing除污染物;真空零部件的表面清洗處理也是非常有必要的,因為由污染物所造成的氣體、蒸氣源不僅會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同時也會影響真空部件連接處的強度和密封性能。污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”,根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體,它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來看,它可以處于離子態(tài)或共價態(tài),可以是無機物或有機物。暴露在空氣中的表面易受到污染,污染的來源有很多種,初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過程、機械處理以及擴散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。廣東真空鍍膜機廠家。光學(xué)鍍膜卷繞真空鍍膜廠家
真空鍍膜機怎么保養(yǎng)?廣西光學(xué)薄膜卷繞真空鍍膜定制化設(shè)計制造
【真空鍍膜機之卷繞式鍍膜機】鍍膜產(chǎn)品廣fan用于裝飾、包裝、電容器等領(lǐng)域中,可鍍光學(xué)、電學(xué)、電磁、導(dǎo)電等多種薄膜。所用基材有PE、PET、PI、PP、OPP、BOPP、紙、泡沫塑料及布等。一般塑料基薄膜材料含水量為1%~2%,紙含水量更da,一般為5%-7%,經(jīng)涂布烘干后,含水量仍有3%。由于基材含水量高,故鍍膜室由初始的單室發(fā)展到目前雙室或多室結(jié)構(gòu)。蒸發(fā)源可以是電阻式、感應(yīng)式、電子柬式以及磁控濺射式。雙室結(jié)構(gòu)應(yīng)用普遍,其優(yōu)點是:①可以蒸鍍放氣量較da的紙基材,并能保障鍍膜質(zhì)量。紙放出的da量氣體從卷繞室中被排走。由于卷繞室與蒸鍍室之間隔板窄縫很小,使放出來的氣體不易進入蒸鍍室中;②單室結(jié)構(gòu)必須配置較da的排氣系統(tǒng)才能保障蒸鍍時的工作壓力,而雙室結(jié)構(gòu)中的蒸鍍室氣體量較小,可配小型抽氣機組,使設(shè)備成本降低,并節(jié)約能源;③卷繞室與蒸鍍室分別抽氣,可縮短抽氣時間。卷繞式真空鍍膜機在結(jié)構(gòu)上除了有一般鍍膜機所有的結(jié)構(gòu)外,必須有一個為了實現(xiàn)連續(xù)鍍膜而設(shè)置的卷繞機構(gòu)。由于被鍍基體是紙或塑料,放氣量較da,因此,在真空室的結(jié)構(gòu)上又有單室和多室之分。廣西光學(xué)薄膜卷繞真空鍍膜定制化設(shè)計制造