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陜西真空鍍膜射頻離子源價(jià)格

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-12-25

【真空鍍膜機(jī)鍍塑料件時(shí)抽真空時(shí)間過長是什么原因?】(1)真空室有漏氣現(xiàn)象:da家都知道,真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)是的基本條件是工件在真空狀態(tài)下才能進(jìn)行鍍膜加工的,若真空室有漏氣現(xiàn)象而沒有經(jīng)過檢漏找出漏氣位置,則真空鍍很長時(shí)間都不能抽得上來的;(2)即使真空室沒有漏氣,因?yàn)樗芰袭a(chǎn)品的放氣量da,所以抽真空,特別是高真空很難達(dá)到。真空室內(nèi)太臟放氣,而且由于塑料產(chǎn)品的放氣,造成真空室內(nèi)鍍膜氣體的不純,有雜氣的存在,造成鍍膜產(chǎn)品的顏色發(fā)暗,發(fā)黃,發(fā)黑等。(3)也許是真空機(jī)組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了。真空鍍膜機(jī)是什么樣的?陜西真空鍍膜射頻離子源價(jià)格

    本申請還涉及一種射頻離子源離子束束徑控制方法,也即采用上述束徑控制裝置進(jìn)行離子束束徑控制的方法,包括以下步驟:s1,對真空腔體5進(jìn)行抽真空;s2,打開離子束發(fā)生器7,調(diào)整電壓電流參數(shù);s3,在控制器6的輸入界面中輸入離子束束徑值;s4,點(diǎn)擊控制器6的執(zhí)行按鈕,控制器6向驅(qū)動(dòng)器8發(fā)出指令,驅(qū)動(dòng)器8控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作;s5,驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)滑環(huán)41轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)導(dǎo)柱24在導(dǎo)槽42中滑動(dòng),葉片2繞固定軸23轉(zhuǎn)動(dòng)使光闌3大小與輸入的離子束束徑值一致。下面給出一種采用該方法進(jìn)行拋光的具體步驟:1、打開離子束拋光系統(tǒng)電源、水冷裝置、工作氬氣等;2、放置光學(xué)元件,采用合適夾具將光學(xué)元件固定;3、對真空腔體進(jìn)行抽真空,保證實(shí)驗(yàn)的真空狀態(tài),且真空腔體壓強(qiáng)需達(dá)到×10-3pa以上;4、打開離子源也即離子束發(fā)生器,調(diào)整好離子源的電壓電流等參數(shù);5、根據(jù)被拋光元件尺寸及檢測后的面形參數(shù)情況選擇離子束束徑,將離子束束徑參數(shù)輸入控制器的計(jì)算機(jī)控制界面;6、點(diǎn)擊控制器的執(zhí)行按鈕,控制器向驅(qū)動(dòng)器發(fā)出指令,驅(qū)動(dòng)器控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作;7,伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)導(dǎo)柱在導(dǎo)槽中滑動(dòng),葉片繞固定軸轉(zhuǎn)動(dòng)使光闌大小與輸入的離子束束徑值一致;8、控制離子束垂直入射法拉第杯。江西光學(xué)薄膜射頻離子源射頻離子源可用于制備納米材料、薄膜、光學(xué)器件等高科技產(chǎn)品。

    達(dá)到修正面形誤差的目的,其加工精度達(dá)到納米級(jí)。射頻(rf)離子源采用磁感應(yīng)產(chǎn)生等離子體,因此是無極放電,放電室內(nèi)鎢燈絲作為陰極,鎢燈絲可在反應(yīng)氣體中長時(shí)間工作,**降低了對離子束帶來的污染。由于射頻感應(yīng)產(chǎn)生的等離子體中只有單電荷離子而幾乎沒有雙電荷離子,因此使屏柵濺射引起的污染尤為小,同時(shí)也增加了離子束的均勻性。rf射頻離子源采用特殊的三柵離子光學(xué)系統(tǒng),既提高了拔出效率,又保證了結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性及防污染的可靠性。離子源工作時(shí),氣體通過石英放電室,通過,離化氣體產(chǎn)生等離子體。帶電粒子經(jīng)由靜電場加速,控制離子束電壓,增大放電室功率,提高放電等離子體濃度,在經(jīng)過離子三柵光學(xué)系統(tǒng)的聚焦加速形成一定能量的離子束。現(xiàn)有技術(shù)中的射頻離子源離子束束徑是通過位于離子源內(nèi)部的三級(jí)柵網(wǎng)設(shè)計(jì)的位置及形狀進(jìn)行調(diào)節(jié)的,調(diào)節(jié)時(shí)需要反復(fù)更換柵網(wǎng)以實(shí)現(xiàn)束徑調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)效率低,同時(shí),現(xiàn)有的柵網(wǎng)均為曲面柵網(wǎng),如圖1所示,從而使得加工制造較為困難,并且很難保證曲面弧度及孔徑的加工精度,加工成本高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:鑒于上述問題,本發(fā)明的目的在于提供一種束徑調(diào)節(jié)方便的射頻離子源離子束束徑約束器。

【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),需更換新油。方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機(jī)前,要注意檢漏。方法:啟動(dòng)維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán),真空鍍膜設(shè)備無法進(jìn)入工作狀態(tài)。真空鍍膜機(jī)的操作視頻。

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之放電清洗】利用熱絲或電極作為電子源,在其相對于待清洗的表面加負(fù)偏壓可以實(shí)現(xiàn)離子轟擊的氣體解吸及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?。清洗效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系。即取決于單位表面積上的離子數(shù)和離子能量,從而取決于有效電功率。在真空室中充入適當(dāng)分壓力的惰性氣體(典型的如Ar氣),可以利用兩個(gè)適當(dāng)?shù)碾姌O間的低壓下的輝光放電產(chǎn)生的離子轟擊來達(dá)到清洗的目的。該方法中,惰性氣體被離化并轟擊真空室內(nèi)壁、真空室內(nèi)的其它結(jié)構(gòu)件及被鍍基片,它可以使某些真空系統(tǒng)免除被高溫烘烤。如果在充入的氣體中加入氧氣,對某些碳?xì)浠衔锟梢垣@得更好的清洗效果。因?yàn)檠鯕饪梢允鼓承┨細(xì)浠衔镅趸梢讚]發(fā)性氣體而容易被真空系統(tǒng)排除。不銹鋼高真空和超高真空容器表面上雜質(zhì)的主要成分是碳和碳?xì)浠衔?。真空鍍膜機(jī)的培訓(xùn)資料。遼寧離子束清洗射頻離子源怎么選

真空鍍膜機(jī)大概多少錢一臺(tái)?陜西真空鍍膜射頻離子源價(jià)格

【真空鍍膜機(jī)概述】:真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子搶加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜機(jī)構(gòu)造的五da系統(tǒng):排氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)。真空鍍膜三要素:真空度、抽氣時(shí)間、溫度;任何鍍膜工藝都需要為這三個(gè)要素設(shè)定目標(biāo)值;因此,只有當(dāng)三個(gè)條件同時(shí)滿足時(shí),自動(dòng)化程序才會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。真空鍍膜機(jī)需要做定期定期保養(yǎng),目的在于:讓鍍膜機(jī)能長時(shí)間地正常運(yùn)轉(zhuǎn);降低故障時(shí)間,避免影響產(chǎn)能,減少損失;提高機(jī)器精度,穩(wěn)定品質(zhì);加快抽氣速度,提升機(jī)器利用率等。陜西真空鍍膜射頻離子源價(jià)格