【射頻離子源工作原理】：氣體通過一個(gè)專門設(shè)計(jì)的氣體絕緣器進(jìn)入石英放電室，13.56mhz的射頻功率通過電感耦合進(jìn)入放電室離化氣體。在產(chǎn)生plasma后、用柵網(wǎng)構(gòu)成的加速系統(tǒng)將離子引出。初，離子被帶正電的Screen Grid集中、接下來加負(fù)電壓的加速柵網(wǎng)將離子束引出。被引出的離子形成離子束，向靶標(biāo)輻射。離子所帶有的能量是由Screen grid的正電壓和Accelerator grid所加的負(fù)電壓大小所決定。離子源設(shè)備能促進(jìn)光電產(chǎn)業(yè)升級(jí)，在國內(nèi)也是一項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)。具有能量高、熱輻射低、工作時(shí)間長、對(duì)膜層污染小、能量分布均勻性好、適應(yīng)多種工作氣體的特點(diǎn)。電子束蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)是什么？山東光學(xué)鍍膜射頻離子源生產(chǎn)廠家

    本發(fā)明的另一目的在于提供一種便于進(jìn)行束徑調(diào)節(jié)的束徑控制裝置。本發(fā)明的另一目的還在于提供一種束徑控制方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種射頻離子源離子束束徑約束器，其特征在于：所述束徑約束器包括具有可供離子束穿過的中空結(jié)構(gòu)的底座、多個(gè)葉片及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述多個(gè)葉片設(shè)于底座一端并環(huán)繞中空結(jié)構(gòu)呈圓周排布，多個(gè)葉片的尾端伸入中空結(jié)構(gòu)所在區(qū)域以圍合形成可供離子束穿過的光闌，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)葉片的尾端相對(duì)葉片排布形成的圓周中心運(yùn)動(dòng)以調(diào)節(jié)光闌大小。進(jìn)一步的，所述葉片的首端與底座的對(duì)應(yīng)端面轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述葉片的尾端沿葉片排布形成的圓周周向依次疊放并斜向伸入所述中空結(jié)構(gòu)所在區(qū)域以形成所述光闌；所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括滑環(huán)及驅(qū)動(dòng)滑環(huán)繞滑環(huán)中心旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)組件，所述滑環(huán)位于多個(gè)葉片的遠(yuǎn)離底座的一側(cè)并與多個(gè)葉片排布形成的圓周同軸設(shè)置，滑環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)葉片的尾端繞葉片的首端轉(zhuǎn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)光闌大小調(diào)節(jié)。進(jìn)一步的，所述葉片呈與多個(gè)葉片排布形成的圓周同向彎曲的圓弧狀。進(jìn)一步的，所述底座的所述一端端面上設(shè)有多個(gè)呈圓周布置的定位孔，所述葉片的首端靠近底座的一側(cè)面上設(shè)有可伸入定位孔中轉(zhuǎn)動(dòng)的固定軸。進(jìn)一步的。上海離子束清洗射頻離子源多少錢真空鍍膜機(jī)機(jī)組是怎樣的？

【如何減少真空鍍膜的灰塵】1、使用的源材料要符合必要的純度要求。2、樣品取出后放置環(huán)境要注意清潔的問題。3、鍍膜一段時(shí)間后，真空室內(nèi)壁必須要清潔處理。4、清洗襯底材料，必須要做到嚴(yán)格合乎工藝要求。5、工作人員有專門的服裝，操作要戴手套、腳套等。6、適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度，有利于降低周圍環(huán)境的懸浮固體顆粒物。7、技術(shù)上明確允許的較da顆粒尺寸和單位面積顆粒物的數(shù)量的上限da致是多少。8、室內(nèi)空氣流動(dòng)性低、地面干凈，如果是裸露的水泥地，需要覆蓋處理。墻壁、屋頂不能使用一般的灰質(zhì)涂料粉刷。

【真空鍍膜機(jī)常見故障】:一、當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降1.蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈）2.坩堝被打穿（更換坩堝）3.高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）4.工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈）5.預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）6.高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）7.機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否工作正常）8.烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈）9.擋板動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈）10.玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃）二、長期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時(shí)間很長且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空：1.蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清洗）2.擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清洗換油）3.前級(jí)泵反壓強(qiáng)da太機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清洗換油）4.各動(dòng)密封膠圈損壞（更換膠圈）5.由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）6.蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）7.各引入座螺釘、螺母有無松動(dòng)現(xiàn)象（重新壓緊）8.高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）真空鍍膜機(jī)的升級(jí)改造。

    本申請(qǐng)中涉及的一種射頻離子源離子束束徑控制裝置具體包括一真空腔體5、控制器6以及設(shè)于真空腔體5中的離子束發(fā)生器7、束徑約束器0和驅(qū)動(dòng)器8，該束徑約束器0即采用葉片2進(jìn)行光闌3大小調(diào)整的束徑約束器0，該束徑約束器0設(shè)置在離子束發(fā)生器7前端，驅(qū)動(dòng)器8與束徑約束器0的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連以控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作，控制器6分別與束徑約束器0及驅(qū)動(dòng)器8相連。本實(shí)施例中，真空腔體5的真空度×10-3pa以上，驅(qū)動(dòng)器8為微型電機(jī)，離子束發(fā)生器7包括離子束發(fā)生器外壁71以及位于離子束發(fā)生器外壁71內(nèi)并位于離子束前端的平面柵網(wǎng)72，控制器6為計(jì)算機(jī)，在計(jì)算機(jī)中編寫matlab控制代碼，通過代碼程序執(zhí)行，微型電機(jī)啟動(dòng)，并控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作，也即對(duì)伺服電機(jī)45進(jìn)行控制，伺服電機(jī)45使用絕對(duì)式編碼器進(jìn)行定位，伺服電機(jī)45驅(qū)動(dòng)齒輪44轉(zhuǎn)動(dòng)并通過齒圈43帶動(dòng)滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)，滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過導(dǎo)槽42帶動(dòng)葉片2繞固定軸23轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使葉片2的尾端22相交組成的光闌3的孔徑大小發(fā)生變化，也即實(shí)現(xiàn)離子束束徑的調(diào)節(jié)，**后將光闌3的孔徑大小信息反饋給計(jì)算機(jī)。束徑約束器0采用附圖中的設(shè)置方向時(shí)，滑環(huán)41順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，光闌3孔徑減小，滑環(huán)41逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，光闌3孔徑變大。真空鍍膜機(jī)詳細(xì)鍍膜方法。陜西離子束輔助沉積射頻離子源廠家

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【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季減半），需更換新油。方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機(jī)前，要注意檢漏。方法：啟動(dòng)維持泵，關(guān)好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無法進(jìn)入工作狀態(tài)。山東光學(xué)鍍膜射頻離子源生產(chǎn)廠家