【射頻離子源簡介】:國泰真空射頻離子源GTRF-17和GTRF-23,主要用于IR-Cut、濾光片等精密光學(xué)鍍膜的離子束輔助沉積和離子束清洗等,是公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)全自主研發(fā)近3年時(shí)間研發(fā)出的國產(chǎn)射頻離子源,屬于國內(nèi)大直徑射頻離子源。打破了國外制造商長期對(duì)國產(chǎn)鍍膜行業(yè)的技術(shù)封鎖,同時(shí)也激勵(lì)了國內(nèi)的同行制造業(yè)。離子源設(shè)備能促進(jìn)光電產(chǎn)業(yè)升級(jí),在國內(nèi)也是一項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)。具有能量高、熱輻射低、工作時(shí)間長、對(duì)膜層污染小、能量分布均勻性好、適應(yīng)多種工作氣體的特點(diǎn)。真空鍍膜機(jī)故障維修技巧有哪些?浙江光學(xué)薄膜射頻離子源價(jià)格
達(dá)到修正面形誤差的目的,其加工精度達(dá)到納米級(jí)。射頻(rf)離子源采用磁感應(yīng)產(chǎn)生等離子體,因此是無極放電,放電室內(nèi)鎢燈絲作為陰極,鎢燈絲可在反應(yīng)氣體中長時(shí)間工作,**降低了對(duì)離子束帶來的污染。由于射頻感應(yīng)產(chǎn)生的等離子體中只有單電荷離子而幾乎沒有雙電荷離子,因此使屏柵濺射引起的污染尤為小,同時(shí)也增加了離子束的均勻性。rf射頻離子源采用特殊的三柵離子光學(xué)系統(tǒng),既提高了拔出效率,又保證了結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性及防污染的可靠性。離子源工作時(shí),氣體通過石英放電室,通過,離化氣體產(chǎn)生等離子體。帶電粒子經(jīng)由靜電場加速,控制離子束電壓,增大放電室功率,提高放電等離子體濃度,在經(jīng)過離子三柵光學(xué)系統(tǒng)的聚焦加速形成一定能量的離子束?,F(xiàn)有技術(shù)中的射頻離子源離子束束徑是通過位于離子源內(nèi)部的三級(jí)柵網(wǎng)設(shè)計(jì)的位置及形狀進(jìn)行調(diào)節(jié)的,調(diào)節(jié)時(shí)需要反復(fù)更換柵網(wǎng)以實(shí)現(xiàn)束徑調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)效率低,同時(shí),現(xiàn)有的柵網(wǎng)均為曲面柵網(wǎng),如圖1所示,從而使得加工制造較為困難,并且很難保證曲面弧度及孔徑的加工精度,加工成本高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:鑒于上述問題,本發(fā)明的目的在于提供一種束徑調(diào)節(jié)方便的射頻離子源離子束束徑約束器。成都射頻離子源制造生產(chǎn)真空鍍膜機(jī)真空度多少?
【真空鍍膜機(jī)鍍塑料件時(shí)抽真空時(shí)間過長是什么原因?】(1)真空室有漏氣現(xiàn)象:da家都知道,真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)是的基本條件是工件在真空狀態(tài)下才能進(jìn)行鍍膜加工的,若真空室有漏氣現(xiàn)象而沒有經(jīng)過檢漏找出漏氣位置,則真空鍍很長時(shí)間都不能抽得上來的;(2)即使真空室沒有漏氣,因?yàn)樗芰袭a(chǎn)品的放氣量da,所以抽真空,特別是高真空很難達(dá)到。真空室內(nèi)太臟放氣,而且由于塑料產(chǎn)品的放氣,造成真空室內(nèi)鍍膜氣體的不純,有雜氣的存在,造成鍍膜產(chǎn)品的顏色發(fā)暗,發(fā)黃,發(fā)黑等。(3)也許是真空機(jī)組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了。
【真空鍍膜對(duì)環(huán)境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?;M(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?;砻嫖廴緛碜粤慵诩庸?、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。對(duì)經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在da氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。?duì)于高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。qing除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求??諝鉂穸萪a的地區(qū),除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。真空鍍膜機(jī)廠家排名。
【真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件】1、環(huán)境溫度:10~30℃2、相對(duì)濕度:不da于70%3、冷卻水進(jìn)水溫度:不高于25℃4、冷卻水質(zhì):城市自來水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?、供電電壓:380V,三相50Hz或220V,單相50Hz(由所用電器需要而定),電壓波動(dòng)范圍342~399V或198V~231V,頻率波動(dòng)范圍49~51Hz;6、設(shè)備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應(yīng)在產(chǎn)品使用說明書上寫明。7、設(shè)備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔,不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵?;驓怏w存在。此外,真空鍍膜設(shè)備所在實(shí)驗(yàn)室或車間應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無塵埃。為防止機(jī)械泵工作時(shí)排出的氣體對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的污染,可采用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法,將氣體排出室外。射頻離子源具有高效、穩(wěn)定、可靠的特點(diǎn),可滿足不同領(lǐng)域的需求。云南射頻離子源自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)
射頻離子源可用于制備納米材料、薄膜、光學(xué)器件等高科技產(chǎn)品。浙江光學(xué)薄膜射頻離子源價(jià)格
【真空鍍膜機(jī)之真空泵的安裝和指導(dǎo)】真空泵安裝指導(dǎo)1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。2、泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對(duì)小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對(duì)小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時(shí)應(yīng)qing除管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入泵腔。)4、在連接管路中,用戶可在泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì),隨時(shí)可檢查泵的極限壓力。5、按電動(dòng)機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。6、泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),須取下電機(jī)皮帶,確認(rèn)泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉(zhuǎn)噴油。(轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向)7、對(duì)于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。8、如泵口安裝電磁閥時(shí),閥與泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。9、當(dāng)泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí),可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。浙江光學(xué)薄膜射頻離子源價(jià)格