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中國臺灣米尼真空鍍膜設備廠

來源: 發(fā)布時間:2022-01-22

【光譜分光不良的補救(補色)之機器故障和人為中斷】: 分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確,補救成功率比較高。 中斷的原因形式之機器故障和人為中斷: 模擬:根據已經實鍍的鏡片(測試比較片)實測分光數據輸入計算機膜系設計程序的優(yōu)化目標值,再根據已經掌握的膜系信息輸入,采用倒推法逐層優(yōu)化,模擬出實際鍍制的膜系數據。 *測試比較片是指隨鏡片一起鍍制(在傘片上、與鏡片同折射率),用于測試鍍后分光曲線的平片。 優(yōu)化:再鎖定通過模擬得到的膜系數據,通過后續(xù)層膜厚優(yōu)化找到實現目標的Zui佳方案。 試鍍:根據新優(yōu)化的后續(xù)膜層數據,試鍍若干鏡片或測試片,確認補色膜系的可行性。 補色鍍:對試鍍情況確認后實施補色鍍。補色鍍前,確認基片是否潔凈,防止產生其他不良。 關于真空鍍膜設備,你知道多少?中國臺灣米尼真空鍍膜設備廠

【真空鍍膜改善薄膜應力】: 1. 鍍后烘烤,Zui后一層膜鍍完后,烘烤不要馬上停止,延續(xù)10分鐘“回火”。讓膜層結構趨于穩(wěn)定。 2. 降溫時間適當延長,退火時效。減少由于真空室內外溫差過大帶來的熱應力。 3. 對高反膜、濾光膜等在蒸鍍過程中,基片溫度不宜過高,高溫易產生熱應力。并且對氧化鈦、氧化鉭等膜料的光學穩(wěn)定性有負面影響。 4. 鍍膜過程離子輔助,減少應力。 5. 選擇合適的膜系匹配,第yi層膜料與基片匹配。 6. 適當減小蒸發(fā)速率。 7. 對氧化物膜料全部充氧反應鍍,根據不同膜料控制氧進氣量。 湖南真空鍍膜設備技術規(guī)范真空鍍膜設備怎么保養(yǎng)?

【真空鍍膜濺射種類】: 1、反應濺射:氧化物,氮化物作為沉積物質 現象:①:靶材分子分裂,其于工藝氣體離子發(fā)生反應,形成化合物 ②:膜層性能改變 ③:靶材有可能中毒 2、二極濺射:二極濺射是一種經典的標準濺射技術,其中等離子體和電子均只沿著電場方向運動。 特征:①:無磁場 ②:濺射率低 ③:放電電壓高(>500V) ④:鍍膜底物受熱溫度極易升高(>500°C) 用途:主要用于金屬靶材、絕緣靶材、磁性靶材等的濺射鍍。 3、磁控濺射:暗區(qū)無等離子體產生,在磁控濺射下,電子呈螺旋形運動,不會直接沖向陽極。而是在電場力和磁場力的綜合作用在腔室內做螺旋運動。同時獲的能量而和工藝氣體以及濺射出的靶材原子進行能量交換,使氣體及靶材原子離子化,dada提高氣體等離子體密度,從而提高了濺射速率(可提高10—20倍)和濺射均勻性。

【真空鍍膜設備的分類】: 這個問題如果在十年之前,其實是很容易回答的,就是兩個大類,物理沉積設備和化學沉積設備。現在這樣回答也是沒錯的,但現在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了,所以從應用領域上可以分成以下幾類: 傳統(tǒng)光學器件(鏡片,濾光片)所用的鍍膜設備:單腔體或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設備,濺射式鍍膜設備。 新材料領域的柔性設備:卷對卷柔性鍍膜設備。 光通訊行業(yè):離子束濺射鍍膜設備。 半導體及相似工藝:化學氣相沉積設備。 功能膜:多弧離子鍍設備,濺射設備,蒸發(fā)設備 玻璃工藝:濺射式連續(xù)線 其余的就得歸到“工藝定制設備”這個范圍里面了,例如車燈鍍膜設備,太陽能的共蒸發(fā)設備,光纖鍍膜設備,太陽能管設備等等 真空鍍膜設備操作培訓。

【濺射的四要素】:①靶材物質,②電磁場,③底物,④一整套完整配備的鍍膜設備 【濺射收益】:1)離子每一次撞擊靶材時,靶材所釋放出的靶材原子;2)影響濺射收益的因素: ①等離子體中離子動能, ②入射離子的入射角度; 3)Zui大濺射收益的決定因素:①入射角度在45°&50°左右,②取決于靶材物質; 4)入射角度的影響因素 ①由電場決定,②靶材表面于入射源的相對角度。 【濺射率】: 定義:每單位時間內靶材物質所釋放出的原子個數。 濺射率的影響因素:①離子動能(取決于電源電壓和氣體壓力)②等離子密度(取決于氣體壓力和電流)。統(tǒng)計學公式:Rs(統(tǒng)計學)=d/t。 注:濺射原子溢出角度大部分在0~10度之間,因此在腔室內所有區(qū)域都可能被鍍上一層膜,久之會產生污染。所以真空濺射腔室內必須進行定期清潔。 真空鍍膜設備升級改造。湖南真空鍍膜設備技術規(guī)范

真空鍍膜設備常見故障及解決方法。中國臺灣米尼真空鍍膜設備廠

【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之單片膜色不均勻】: 原因:主要是由于基片凹凸嚴重,與傘片曲率差異較大,基片上部、或下部法線與蒸發(fā)源構成的蒸發(fā)角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大,形成的膜厚差異大。另外鏡片被鏡圈(碟片)邊緣部遮擋、鏡圈(碟片)臟在蒸鍍時污染鏡片等也會造成膜色差異問題。 改善對策:改善鏡片邊緣的蒸發(fā)角 1. 條件許可,用行星夾具 2. 選用傘片平坦(R大)的機臺 3. 根據傘片孔位分布,基片形狀,制作專門的鋸齒形修正板。 4. 如果有可能,把蒸發(fā)源往真空室中間移動,也可改善單片的膜色均勻性。 5. 改善鏡圈(碟片),防止遮擋。 6. 注意旋轉傘架的相應部位對邊緣鏡片的部分遮擋 7. 清潔鏡圈(碟片) 8. 改善膜料蒸發(fā)狀況。中國臺灣米尼真空鍍膜設備廠

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