【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】 1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。 方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。 2.當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),需更換新油。 方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。 3.在重新開機(jī)前,要注意檢漏。 方法:啟動(dòng)維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán),真空鍍膜設(shè)備無法進(jìn)入工作狀態(tài)。 PVD真空鍍膜機(jī)的公司。重慶實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜機(jī)
【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點(diǎn)是基片相對(duì)于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨(dú)控制?;ǔ=拥匚?,它和靶與高頻電路無關(guān),不會(huì)象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺(tái)較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品臺(tái)的單獨(dú)控溫,就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造,設(shè)計(jì)、加工了專門的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺(tái)上,可使樣品和控溫的樣品臺(tái)有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個(gè)測溫鉑電阻,用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊,再用導(dǎo)線引出與高精度的萬用表相連,以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。湖北真空鍍膜機(jī)常見問題與解決辦法真空鍍膜機(jī)是什么樣的?
【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法普及之熒光檢漏法】 熒光檢漏法首先需要將熒光材料溶于如丙tong等一些浸潤性能好、易于揮發(fā)的有機(jī)溶劑中,使之成為飽和溶液;然后將被檢的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面,這一過程中,為了提升效果、縮短浸泡時(shí)間,可以在抽真空或者加壓條件下對(duì)其進(jìn)行浸泡。如果存在漏孔,熒光劑溶液會(huì)因毛細(xì)作用滲入到其中;qing除表面多余的溶液,待有機(jī)溶劑揮發(fā)后,熒光材料便會(huì)在漏孔中殘留下來;此時(shí)再用紫外線燈光照射,漏孔位置就會(huì)觀察到明顯的熒光點(diǎn)。 在進(jìn)行紫外光源照射時(shí),對(duì)于一些存在盲孔、表面不平的器件,可能也會(huì)存在殘留熒光材料,因此玻璃真空器件*好在背面進(jìn)行照射觀察;為了提高對(duì)比度也可以采用濾光放da鏡,過濾掉紫外線以外的其他光線,來獲得更佳的觀察效果;而在熒光材料的選擇時(shí)要注意其發(fā)光顏色和被檢真空部件的顏色要有明顯的反差。 熒光檢漏法不僅用于真空系統(tǒng)檢漏中,而且也被用于鑄件、模壓金屬件以及焊接件的裂紋檢查等。
【真空鍍膜機(jī)有哪些污染源】真空鍍膜機(jī)是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過許多機(jī)械加工流程而制作出來,如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因?yàn)橛辛诉@些工作,導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會(huì)沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對(duì)設(shè)備的極限真空造成影響。 此外,這些機(jī)械加工帶來的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會(huì)被再次釋放出來,成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。 1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對(duì)其絕緣強(qiáng)度有一定的損壞,對(duì)其測量的準(zhǔn)確性也有一定的影響; 2、由于高溫蒸發(fā),會(huì)使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜; 3、由于工件濺射,離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被濺散物所污染; 4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被其蒸鍍靶材材料污染; 5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會(huì)受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染; 6、真空鍍膜設(shè)備中的擴(kuò)散泵油、機(jī)械泵油等更是一da主要污染來源,鍍膜機(jī)長期工作后,設(shè)備內(nèi)部可能會(huì)形成一層油膜。 廣東真空鍍膜機(jī)廠家。
【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之放電清洗】利用熱絲或電極作為電子源,在其相對(duì)于待清洗的表面加負(fù)偏壓可以實(shí)現(xiàn)離子轟擊的氣體解吸及某些碳?xì)浠衔锏娜コG逑葱ЧQ于電極材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系。即取決于單位表面積上的離子數(shù)和離子能量,從而取決于有效電功率。在真空室中充入適當(dāng)分壓力的惰性氣體(典型的如Ar氣),可以利用兩個(gè)適當(dāng)?shù)碾姌O間的低壓下的輝光放電產(chǎn)生的離子轟擊來達(dá)到清洗的目的。該方法中,惰性氣體被離化并轟擊真空室內(nèi)壁、真空室內(nèi)的其它結(jié)構(gòu)件及被鍍基片,它可以使某些真空系統(tǒng)免除被高溫烘烤。如果在充入的氣體中加入氧氣,對(duì)某些碳?xì)浠衔锟梢垣@得更好的清洗效果。因?yàn)檠鯕饪梢允鼓承┨細(xì)浠衔镅趸梢讚]發(fā)性氣體而容易被真空系統(tǒng)排除。不銹鋼高真空和超高真空容器表面上雜質(zhì)的主要成分是碳和碳?xì)浠衔?。一般情況下,其中的碳不能單獨(dú)揮發(fā).經(jīng)化學(xué)清洗后,需要引入Ar或Ar+O2混合氣體進(jìn)行輝光放電清洗,使表面上的雜質(zhì)和由于化學(xué)作用被束縛在表面上的氣體得到qing除。真空鍍膜機(jī)故障解決方法?江蘇卷繞式真空鍍膜機(jī)廠家
真空鍍膜機(jī)的操作視頻。重慶實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜機(jī)
【真空鍍膜機(jī)之真空電鍍】真空電鍍是一種物理沉積現(xiàn)象。即在真空狀態(tài)下注入氬氣,氬氣撞擊靶材,靶材分離成分子被導(dǎo)電的貨品吸附形成一層均勻光滑的仿金屬表面層。 適用材料: 1、很多材料可以進(jìn)行真空電鍍,包括金屬,軟硬塑料,復(fù)合材料,陶瓷和玻璃。其中*常見用于電鍍表面處理的是鋁材,其次是銀和銅。 2、自然材料不適合進(jìn)行真空電鍍處理,因?yàn)樽匀徊牧媳旧淼乃謺?huì)影響真空環(huán)境。 工藝成本:真空電鍍過程中,工件需要噴涂,裝載,卸載和再噴涂,所以人力成本相當(dāng)高,但是也取決于工件的復(fù)雜度和數(shù)量。 環(huán)境影響:真空電鍍對(duì)環(huán)境污染很小,類似于噴涂對(duì)環(huán)境的影響。 重慶實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜機(jī)
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