真空蒸發(fā)工藝將固體材料置于高真空環(huán)境中加熱,使之升華或蒸發(fā)并淀積在特定的襯底上,以獲得薄膜的工藝方法。使用導電材料、介質(zhì)材料、磁性材料和半導體材料,都可以通過真空蒸發(fā)工藝而獲得淀積的薄膜。利用真空蒸發(fā)工藝形成各種薄膜是集成電路制備的一項重要技術(shù)。
真空蒸發(fā)工藝在微電子技術(shù)中主要用于制作有源元件、器件的接觸及其金屬互連、高精度低溫度系數(shù)的薄膜電阻器,以及薄膜電容器的絕緣介質(zhì)和電極等。薄膜磁性元件如存儲元件、邏輯元件、光磁元件、聲表面波器件、薄膜超導元件等的薄膜,都可用真空蒸發(fā)方法獲得。 無錫麗瓷陶瓷蒸發(fā)舟值得信賴。上海真空鍍鋁蒸發(fā)舟陶瓷蒸發(fā)舟工廠
為發(fā)揮蒸發(fā)舟性能,達到較長的使用壽命,請注意以下操作要點: 1、兩排夾具要保持對準,表面要保持光潔。 2、端面或側(cè)面要使用石墨紙保證良好的電接觸和熱傳導。 3、在新舟加熱時,在凹槽**放一截鋁絲,以方便準確判定蒸發(fā)舟的溫度。 4、鋁絲的接觸點應(yīng)該位于舟長的1/3 至2/5 處。 5、新舟剛加熱不可太快,以免影響放氣。 6、新舟剛使用時,送鋁速度應(yīng)由正常的75% 左右開始逐漸增加,并逐步調(diào)低功率,以達到液鋁鋪展面積。 7、新舟加熱以15 分鐘為佳,并以上述方法送鋁開始蒸鍍。 8、每卷蒸鍍完畢時,先停止送鋁,30-60 秒后再關(guān)掉電源。 9、關(guān)閉電源大約2 分鐘后,至蒸發(fā)舟冷卻至暗紅色,開始關(guān)真空。河南導電復合陶瓷蒸發(fā)舟陶瓷蒸發(fā)舟公司陶瓷蒸發(fā)舟推薦,無錫麗瓷值得信賴。
蒸發(fā)舟發(fā)展情況編輯19世紀的石墨舟在很多行業(yè)已經(jīng)淘汰,20世紀后期比較流行的是氮化硼二硼化鈦復合導電陶瓷加工的產(chǎn)品。由于氮化硼具有極高的絕緣性,二硼化鈦具有極高的導電性,根據(jù)2種材料的不同配比,可以很容易控制所制產(chǎn)品的電阻率。但是國內(nèi)原材料的制備工藝落后,傳統(tǒng)方法所制備的氮化硼結(jié)晶度低,雜質(zhì)多,純度低,而且在制備過程中產(chǎn)生大量有害氣體和廢液,對環(huán)境和個人造成嚴重危害。**及地方預計將在2015年前給予取締。而二硼化鈦的制備,國內(nèi)均采用碳熱還原法生產(chǎn),所用設(shè)備為低效率的碳管爐,爐子和工藝的局限導致在1600度所制得的二硼化鈦結(jié)晶顆粒極小,純度只能達到90%左右,其雜質(zhì)含量十分驚人。所制得的蒸發(fā)舟電阻極其不穩(wěn)定,耐腐蝕性能極差。國外氮化硼,二硼化鈦制備工藝先進,純度可達99%以上,以德國為主的蒸發(fā)舟制造商強大的研究中心。所制得的蒸發(fā)舟壽命長,耐腐蝕,蒸發(fā)效率高,蒸發(fā)質(zhì)量有保證。
鴒板式蒸發(fā)舟的另 一個缺點是其運行期間出現(xiàn)彎曲/懸垂,因為鎢和銅具有不同 的熱膨脹系數(shù)。由此,在鴒板式蒸發(fā)舟中引起應(yīng)力和變形。這種變形以"雙 金屬效應(yīng)"的概念是眾所周知的。
一種由氮化硼,可選的氮化鋁和硼化鈦以及鵠、 鉬和鉻組成的組中的 一種或幾種金屬組成的熱壓導電混合材料制成的、用 來蒸發(fā)鋁、銅或銀的蒸發(fā)舟。但是所述蒸發(fā)舟有這樣幾個缺點,即它們對于 銅或銀的潤濕差并且啟動性能差,因此在起動階段需要操作頻繁的再調(diào)節(jié)。
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氮化硼對酸、堿和玻璃熔渣有良好的耐侵蝕性,對大多數(shù)熔融金屬如Fe、Al、Ti、Cu和Si等,以及砷化鎵、冰晶石和玻璃熔體等既不潤濕也不反應(yīng),因此可以用作熔煉有色金屬、貴金屬和稀有金屬的坩堝、器皿、管道、輸送泵等部件,還可用作硼單晶熔制器皿、玻璃成型模具、水平連鑄分離環(huán)、熱電偶保護管等,也可用于制造砷化鋅、磷化鎵、磷化錮等半導體材料的容器、各種半導體封裝的散熱底板以及半導體和集成電路用的P型擴散源。 用氮化硼熱電偶保護管替代常規(guī)的氧化鋁保護管后,由于導熱性好、提高了控溫精度、使得窯爐的節(jié)電效果明顯、并提高了產(chǎn)品合格率,給企業(yè)帶來較好的經(jīng)濟效益。無錫麗瓷陶瓷蒸發(fā)舟銷售。福建真空鍍鋁蒸發(fā)舟陶瓷蒸發(fā)舟廠家
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氮化鋁陶瓷材料性能特點:
1、 耐高溫:AlN屬類金剛石氮化物,可穩(wěn)定到2200℃。
2、 耐腐蝕性能:抗熔融金屬侵蝕的能力強,是熔鑄純鐵、鋁或鋁合金理想的坩堝材料。
3、高熱導率:氮化鋁基片的熱導率為氧化鋁基板的10倍,具有優(yōu)良的導熱性(導熱率為180-220 W/mK)、熱膨脹系數(shù)與硅半導體元件相匹配 、絕緣性能。
4、良好的機械性能:不低于甚至超過氧化鋁陶瓷。
5、良好的潤舟性能:蒸發(fā)過程中極少出現(xiàn)金屬濺射問題,保證了金屬膜各方面的穩(wěn)定性,可以使蒸發(fā)舟的潤舟性能提高。
6、特別是在鍍鋁行業(yè)應(yīng)用中,我們的超長使用壽命的特點非常明顯。 上海真空鍍鋁蒸發(fā)舟陶瓷蒸發(fā)舟工廠