形成氣液混合體,從擴(kuò)散管22排出又進(jìn)入到再生液調(diào)配缸3。電解再生某線路板生產(chǎn)線蝕刻廢液,蝕刻廢液量1000m3/d,相比沒有使用本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),能耗節(jié)約40%,節(jié)約使用藥品100kg/d,經(jīng)濟(jì)效益提高30%。作為本實(shí)施例的一個(gè)示例,電解槽1的陽(yáng)極可選用石墨電極,陰極可選用鈦或鈦合金板狀電極,電解槽1中陰極與陽(yáng)極之間的距離為55mm,電解槽1的電流密度為300a/m2。與實(shí)施例相結(jié)合,圖2示出了本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),在實(shí)施例的基礎(chǔ)上,第二實(shí)施例進(jìn)一步包括曝氣裝置5,曝氣裝置5通過管道深入到再生液調(diào)配缸3的液體中,用于向再生液調(diào)配缸3中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌,以提高整個(gè)系統(tǒng)的工作效率。進(jìn)一步地,與上述、第二實(shí)施例相結(jié)合,酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還可以包括一后續(xù)處理系統(tǒng),用于向經(jīng)過再生液調(diào)配缸3處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻,然后再打入到子液桶,實(shí)現(xiàn)再生液循環(huán)利用。以上所述為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。選擇BOE蝕刻液,實(shí)現(xiàn)高精度蝕刻效果。無(wú)機(jī)BOE蝕刻液供應(yīng)
蝕刻是印制電路板制造的重要工序,電路板廠生產(chǎn)過程中產(chǎn)生大量高銅蝕刻廢液,蝕刻廢液屬于危險(xiǎn)液體廢物,含有大量的銅、氯等污染成分,如果不經(jīng)過嚴(yán)格的處理就直接排放到環(huán)境中,不僅造成資源的浪費(fèi)和損失,而且也會(huì)對(duì)人類和自然環(huán)境造成很大的危害。
另外,蝕刻廢液中的銅離子及氯離子也具有很高的回收價(jià)值,在當(dāng)今資源日益緊缺且環(huán)境形勢(shì)日益嚴(yán)峻的境況下,如何嚴(yán)格并妥當(dāng)處理這么大產(chǎn)量的廢液是個(gè)十分重要的問題。從上世紀(jì)50年代起,印制電路板的制作過程中便出現(xiàn)了化學(xué)蝕刻這一步,用化學(xué)蝕刻的方法將基材上布置線路所用的多余的銅蝕刻下去,從而使得線路凸顯在板材上,使得它形成一個(gè)完整的電路回路的過程就叫做蝕刻工藝。工藝開始時(shí),將一塊完整的銅箔附著在基材上,將電回路刻畫在其上,并用錫附著在其上,保證電回路不被蝕刻下來(lái),保證這構(gòu)成電回路的銅完整。化學(xué)蝕刻法已經(jīng)成為了印制電路板過程的不可或缺的一步?,F(xiàn)如今,應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的蝕刻液應(yīng)當(dāng)具備的以下六點(diǎn)技術(shù)性能:1、蝕刻液要能保證抗蝕保護(hù)層或者抗電鍍保護(hù)層的不被蝕刻的性能要求。2、蝕刻工藝條件(溫度、外界環(huán)境等)范圍寬,作業(yè)環(huán)境相對(duì)良好(不能有太多揮發(fā)性有毒氣體),并且能夠有效地實(shí)行自動(dòng) 山東應(yīng)用BOE蝕刻液溶劑BOE蝕刻液蝕刻后如何判斷好壞 ?
該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為二乙二醇單甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。
T156WXB-500HB156WX1-100HT156WXB-502HB156WX1-600HB156WX1-500NT156WHM-N21HB156WX1-200NT156WHM-N10HB156FH1-301HB156FH1-401NT156WHM-N22NT156WHM-N12NT156WHM-N42NV156FHM-N31NT156WHM-N50NV156FHM-N41HT150X02-100HT150X02-101TDA150-004HM150X01-101TDA150-002HM150X01-200HT141WXB-100HT140WXB-100HT140WXB-501HT140WXB-101HT140WXB-300HT140WXB-400HB140WX1-100HT140WXB-601HB140WX1-200HW14WX101HW14WX102HW14WX103HB140WX1-300HB140WX1-500HB140WX1-600HB140WX1-101HT14X1B-121HB140WX1-501HB140WX1-401HB140WX1-400HB140WX1-301HB140WHA-101HB140WX1-503HB140FH1-401HB140WH1-504HB140FH1-301HB140WX1-601HT133WXB-100HN133WU3-100HB133WX1-402HB133WX1-403HN133WU1-100HB133WX1-201JH1330010LD1330020AV128HDM-NW0HB125WX1-100HB125WX1-200BA121S01-100TT121S0M-NW0HT116WXB-100IT1160020HN116WX1-100IT1160030IT1160040HN116WX1-102NT116WHM-N11NT116WHM-N21NT116WHM-N10IT1160060BA104S01-100BA104S01-200HT101WSA-100HT101WSB-100HT101WSB-101HT101WSB-200HT101WSB-201BA101WS1-100BP101WX1-100BP101WX1-200BP101WX1-300BA101WS2-100BP101WX1-203BP101WX1-20。哪家的BOE蝕刻液的價(jià)格優(yōu)惠?
siendolaresultantemíósitosdeberáserarenasilíceayestarlavada,limpia,secayexentadearcillas,limos,componentesdeazufreydecualquierotrasustanciaquepuedaatacarquímicamentealosmaterialesdeldepósito;eltama?odelosgranosdearenaestarácomprendidoentre0,1y2milíánecesarialainstalacióndecubeto,circunstanciaquedeberááticoenlaexcavacióndealojamientodetanquesseconstruirááeldepósitoparaimpedirquevacíoseeleveomuevaencasodeinmersióóndeldepósitoalasoleraseefectuarádeformaquelapresiónejercidasobreelrevestimientoprotectornopuedada?arlo,yaseaenelmomentodesucolocación,yaseaencasodeflotacióándepletinadeacerodeseismilímetrosdeespesorcomomíáunfieltroomaterialanálogo,inalterablealentornoqueimpidaquelosflejesda?enelrevestimientodeldepóálicasdeestafijaciónestánprotegidascontralacorrosióósitosserealizarácomosedescribeenel。質(zhì)量好的做BOE蝕刻液的公司。江蘇介紹BOE蝕刻液產(chǎn)品介紹
BOE蝕刻液應(yīng)用于什么樣的場(chǎng)合?無(wú)機(jī)BOE蝕刻液供應(yīng)
本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù):氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中,一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻,一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,器件的特征尺寸越來(lái)越小,集成度越來(lái)越高,對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高,如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí),晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí),檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,所述蝕刻液的組成包括:占蝕刻液總重量≥88%的磷酸、%的醇醚類、%的表面活性劑。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液。無(wú)機(jī)BOE蝕刻液供應(yīng)